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《半导体光电》 2010年03期
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基于自由空间光学的光机电混合集成技术

张流强  
【摘要】:随着微加工技术和微分析技术的发展,人们已经可以把大型的机电系统或者光学系统微型化并进行某种程度的集成。但是,由于光学元件和光学系统对微结构的材料性能、几何尺寸和表面质量等都有极为苛刻的要求,光学系统特别是自由空间光学系统的微型化仍然面临巨大的技术挑战。提出一种基于表面压印和三维铸模技术的自由空间光学系统集成技术,该技术解决了光学元件的微型化及层内和层间的光学互联;在此基础上,结合MEMS技术、印刷电路(PCB)和表面贴装(SMD)技术实现了片上的光机电混合集成。
【作者单位】重庆大学光电工程学院;
【基金】:国家自然科学基金项目(60307006)
【分类号】:TN491

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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2 杨国光,沈亦兵,侯西云;微光学技术及其发展[J];红外与激光工程;2001年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国博士学位论文全文数据库 前8条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国重要报纸全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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7 刘世舟;开环加速度传感器ASIC的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
8 陈伟虎;小功率DC-DC变换器混合集成研究[D];电子科技大学;2007年
9 黄铭;毫米波收发组件研究[D];电子科技大学;2008年
10 王姗姗;3mm集成接收前端研究[D];电子科技大学;2009年
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