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《半导体光电》 2010年02期
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磁控溅射中工艺参数对ZnO:Al薄膜性能的影响

徐玮  于军  王晓晶  袁俊明  雷青松  
【摘要】:利用射频磁控溅射法采用氧化锌铝(98%ZnO+2%Al2O3)为靶材在普通载玻片上制备了ZAO(ZnO∶Al)薄膜,研究了溅射功率及溅射气压对薄膜晶体结构、电学和光学性能的影响。利用X射线衍射仪、场扫描电镜对薄膜的结构及表面形貌进行了分析,利用分光光度计和电阻测试仪分别测试了薄膜的光电学性能。结果表明:溅射功率为120W、衬底温度为300℃、工作气压为0.5Pa时制得的薄膜具有良好的光电学性能(可见光平均透过率为88.21%、电阻率为8.28×10-4Ω.cm)。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 程晓蕾;刘志;施焕儒;简建明;徐杨;;磁控溅射和退火制备ZnO/SiO_2复合薄膜[J];材料热处理学报;2012年01期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 杨伟锋;刘著光;吕英;黄火林;吴正云;;RF磁控溅射功率对ZnO:Al薄膜结构和性能的影响[J];光电子.激光;2008年12期
2 潘志峰;袁一方;李清山;;退火处理对ZnO薄膜晶体结构和导电性能的影响[J];光学与光电技术;2006年01期
3 乔明霞;黄伟;张彬;;YbF_3和ZnS薄膜的折射率和厚度的分光光度法测定[J];激光杂志;2006年01期
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 金鑫;李伟;蒋亚东;廖乃镘;陈宇翔;陈德鹅;;C元素对N型a-Si∶H薄膜微结构及电学特性的影响[J];半导体光电;2009年05期
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4 徐玮;于军;王晓晶;袁俊明;雷青松;;衬底温度对ZnO:Al薄膜结构和性能的影响[J];半导体技术;2009年07期
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10 鲍海飞,叶水驰,兰慕杰,袁保红,何代义,周士仁,王骐;Sb/Se薄膜的晶化特性研究[J];半导体学报;1998年05期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 王晓晶;徐玮;雷青松;于军;;退火温度对ZnO:Al透明导电薄膜结构和性能的影响[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘秉策;ZnO/Si异质结构晶界行为及其载流子输运机制研究[D];中国科学技术大学;2011年
2 秦艳丽;硅基薄膜的制备及其在锂离子电池中的应用[D];兰州大学;2011年
3 杨沁玉;等离子体沉积Si/SiO_x纳米颗粒薄膜及发光特性的研究[D];东华大学;2011年
4 钱祥忠;高像质非晶硅薄膜晶体管液晶显示器的研究[D];电子科技大学;2003年
5 郭效军;几种无机纳米材料的制备、表征与应用[D];西北师范大学;2004年
6 胡海龙;Si基纳米晶阵列的制备及特性研究[D];兰州大学;2006年
7 张宇翔;太阳能电池用多晶硅薄膜的制备研究[D];郑州大学;2005年
8 徐慢;玻璃基太阳能电池薄膜材料制备及其结构和性能研究[D];武汉理工大学;2006年
9 马铁英;非晶硅微测辐射热计的材料、设计、制备和测试研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
10 于化丛;氢化纳米硅(na-Si:H)薄膜太阳电池研究[D];上海交通大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王淑珍;HIT太阳电池硅片处理及复合透明导电膜的研究[D];江南大学;2010年
2 高峰;磁控溅射法制备氮化硅薄膜及其性能研究[D];武汉理工大学;2010年
3 殷官超;PECVD法制备掺磷非晶硅薄膜及其结构和性能的研究[D];武汉理工大学;2011年
4 秦易;非晶硅太阳能电池的透明导电层和本征非晶硅层的研究[D];华东师范大学;2011年
5 刘立慧;横向非均匀纳米硅(nc-Si)薄膜和氧化亚铜薄膜的制备及其特性研究[D];陕西师范大学;2011年
6 邱毅娇;非晶碳及非晶碳化硅薄膜的制备及光学性能研究[D];电子科技大学;2011年
7 邵胜子;非晶硒薄膜X射线光电转换特性的研究[D];电子科技大学;2011年
8 权祥;P型μc-SiC:H窗口层太阳能电池特性研究[D];电子科技大学;2011年
9 王俊;ZAO:H透明导电薄膜中H的掺杂行为研究[D];武汉科技大学;2011年
10 石澎;双波长激光防护红外减反滤光片的研制[D];长春理工大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 朱亮;冯焱颖;叶雄英;武雁斌;周兆英;;粗糙表面的可控润湿性研究[J];传感技术学报;2006年05期
2 施政余;李梅;赵燕;路庆华;;润湿性可控智能表面的研究进展[J];材料研究学报;2008年06期
3 范希梅;连建设;;沉积温度对ZnO薄膜结构及发光性能的影响[J];材料热处理学报;2007年01期
4 汪冬梅;吕珺;徐光青;吴玉程;郑治祥;;纯Ar气氛中退火对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响[J];材料热处理学报;2007年04期
5 张化福;刘汉法;类成新;袁长坤;;射频磁控溅射法低温制备ZnO∶Zr透明导电薄膜及特性研究[J];真空科学与技术学报;2009年03期
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 郭正奎;纳米ZnO的制备和表面改性及ZnO/PU复合涂料的研究[D];重庆大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 张永康,刘建本,易保华,陈德根,肖卓炳,陈上;常温固相反应合成纳米氧化锌[J];精细化工;2000年06期
2 钟迪生,王鲁川,于颖沚;用分光光度法测量薄膜的光学常数[J];辽宁大学学报(自然科学版);1996年02期
3 张德恒,王卿璞,薛忠营;不同衬底上的ZnO薄膜紫外光致发光[J];物理学报;2003年06期
4 方泽波,龚恒翔,刘雪芹,徐大印,黄春明,王印月;退火对多晶ZnO薄膜结构与发光特性的影响[J];物理学报;2003年07期
5 孙成伟;刘志文;张庆瑜;;退火温度对ZnO薄膜结构和发光特性的影响[J];物理学报;2006年01期
6 孙成伟;刘志文;秦福文;张庆瑜;刘琨;吴世法;;生长温度对磁控溅射ZnO薄膜的结晶特性和光学性能的影响[J];物理学报;2006年03期
7 李勇;孙成伟;刘志文;张庆瑜;;磁控溅射ZnO薄膜生长的等离子体发射光谱研究[J];物理学报;2006年08期
8 黄佐华,何振江;测量薄膜厚度及其折射率的光学方法[J];现代科学仪器;2003年04期
【相似文献】
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1 刘江;庄大明;张弓;李春雷;段宇波;;中频交流磁控溅射制备氧化锌铝(ZAO)薄膜的研究[J];中国表面工程;2010年01期
2 杨伟方;付恩刚;庄大明;张弓;;ZAO薄膜的光电特性与应用前景[J];真空;2007年05期
3 李兴鳌;刘祖黎;左安友;袁作彬;杨建平;姚凯伦;;磁控溅射制备铁掺杂氮化铜薄膜的研究[J];材料导报;2006年12期
4 王三坡;沈杰;章壮健;杨锡良;张群;;新型透明导电ZnO∶Mo薄膜[J];真空科学与技术学报;2008年01期
5 刘波;赵小如;冯娴娴;刘凯;赵亮;;掺杂氧化锌薄膜的最新进展[J];液晶与显示;2009年04期
6 徐玮;于军;王晓晶;袁俊明;雷青松;;磁控溅射中工艺参数对ZnO:Al薄膜性能的影响[J];半导体光电;2010年02期
7 杨伟方;梁展鸿;侯亚奇;庄大明;张弓;;氧化锌铝(ZAO)陶瓷靶材制备及其薄膜性能[J];真空科学与技术学报;2008年01期
8 王晶;余花娃;;磁控溅射制备纳米Ni-Al薄膜的表面粗糙度和电阻率的研究[J];西安工程大学学报;2009年04期
9 赖珍荃;邹文祥;李海翼;刘文兴;;溅射气压对DC磁控溅射制备AlN薄膜的影响[J];南昌大学学报(理科版);2011年01期
10 杜记龙;江美福;张树宇;王培君;辛煜;;退火温度对用PⅢ方法制备共掺杂p型ZnO薄膜结构和性能的影响[J];苏州大学学报(自然科学版);2011年01期
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1 赵芳红;吴云龙;成惠峰;谭欢;;银膜厚度对ITO-Ag-ITO-Glass玻璃性能的影响[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年
2 李丽;方亮;廖克俊;刘高斌;杨丰帆;付光宗;;直流磁控溅射制备ZnO薄膜的结构及电学性质研究[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
3 朱长纯;商世广;;直流磁控溅射ITO薄膜的低温等离子退火研究[A];第九届真空技术应用学术年会论文集[C];2006年
4 万媛媛;李莉;王丽坤;秦雷;魏兵;;1-3型压电复合材料电极的制备[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
5 江少群;马欣新;唐光泽;孙明仁;;退火时间对La-Sr-Mn-O薄膜结构和金属—绝缘体转变的影响[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)[C];2008年
6 刘贵昂;贺德衍;谢二庆;;a-SiC:H薄膜的γ射线辐照效应[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
7 姚吉升;唐三川;陈坚;王玺;周友元;黄军武;;ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究[A];中国真空学会五届三次理事会暨学术会议论文集[C];2002年
8 徐政;俞晓正;沈志刚;;用磁控溅射方法在空心微珠表面镀纳米铜膜的研究[A];第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会论文集[C];2007年
9 刘艳涛;马剑平;;基于Atemga128的磁控溅射镀膜机(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
10 吴萌;黄佳木;郝晓培;;磁控溅射TaN_x/Ag/TaN_x低辐射复合膜的性能[A];2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集(第二卷)[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 许俊强;水气透过率测定仪在软包装检测中的应用[N];中国包装报;2005年
2 张萍伍东;长城测井发挥技术优势明辨水淹层[N];中国石油报;2008年
3 赵陕雄;靠质量竞技全球市场[N];中国质量报;2007年
4 孟凯钱江山 黄黎黎;警惕进口太阳能用硅原料质量安全[N];中国国门时报;2008年
5 魏双林;河北全通碳素打造节能新品[N];中国有色金属报;2005年
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7 严锋;能够同步测量带材厚度和电阻的测量系统[N];世界金属导报;2005年
8 许俊强;氧气透过率测定仪在软包装检测中的应用[N];中国包装报;2005年
9 记者 平凡;穿什么更能防晒[N];大众科技报;2002年
10 本报记者 诸玲珍;ITO靶材:资源优势明显 工艺研发取得突破[N];中国电子报;2009年
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1 李其仲;氧化锡陶瓷靶材的制备及其性能研究[D];武汉理工大学;2011年
2 公衍生;氧化铱薄膜的脉冲激光沉积、结构控制及其性能研究[D];武汉理工大学;2006年
3 晏建武;纳米Ni-Cr薄膜的制备、表征及其性能研究[D];中南大学;2006年
4 孙彦峰;ZnO:Al透明导电薄膜与ZnO器件的制备及性质的研究[D];吉林大学;2007年
5 刘维峰;ZnO:Al透明导电薄膜和ZnO发光器件的制备及特性研究[D];大连理工大学;2007年
6 魏艳君;磁控溅射SiC薄膜制备及其场发射相关性能研究[D];燕山大学;2010年
7 李宗田;储层三维电阻率反演成像技术及其在剩余油探测中的应用[D];中国地质大学(北京);2005年
8 杨昌虎;掺杂改性纳米TiO_2和ZnO薄膜材料性能的研究[D];上海大学;2011年
9 常学森;基于磁控溅射方法制备二氧化钛薄膜及其亲水特性研究[D];东北大学;2007年
10 张磊;辐照损伤材料的实验模拟研究:含氦薄膜制备及MAX相材料离子辐照行为[D];复旦大学;2011年
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1 何维凤;磁控溅射法制备ZnO透明导电薄膜组织与性能研究[D];江苏大学;2005年
2 王永利;MgZnO:Al透明导电膜的制备与特性研究[D];山东大学;2007年
3 王伟;FeCo基纳米晶软磁薄膜材料的制备及性能研究[D];厦门大学;2009年
4 王凤丹;玻璃基光刻铬掩膜板的膜系研究[D];合肥工业大学;2005年
5 田奇;低温磁控溅射ZAO薄膜工艺及性能研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
6 林丽梅;In_2O_3基透明导电薄膜的制备及特性研究[D];福建师范大学;2007年
7 王强;VLSI工艺中铝互连与蚀刻的研究[D];电子科技大学;2005年
8 杜永胜;全钙钛矿结构磁性隧道结的制备与性能研究[D];北京工业大学;2005年
9 黄伟霞;Mg_xZn_(1-x)O透明导电薄膜的制备及性能研究[D];浙江大学;2006年
10 张世权;磁控溅射法制备二氧化钛半导体薄膜的光致催化和亲水特性研究[D];兰州大学;2006年
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