收藏本站
《半导体光电》 2006年06期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于分形理论的MEMS光开关微镜分析与模拟

张毅  罗元  徐晓东  
【摘要】:微镜是微电子机械系统(MEMS)光开关的关键结构,镜表面粗糙度对微镜反射率、插入损耗等特性影响重大。给出了用扫描隧道显微镜测量的一组微镜的表面形貌,进而将分形理论应用在微镜表面的分析上,同时一种三维的Weierstrass-Mandelbrot(W-M)函数被用以模拟各种不同的表面形貌。结果对比表明,这种W-M函数可用于微镜表面的建模和形貌分析。

【共引文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 高中庸;黄位健;周光宝;;微凸体油膜弹性支承效应的刨切实验验证[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 李敦钫;碳化硅和氧化铝基陶瓷材料的摩擦磨损特性研究[D];昆明理工大学;2003年
2 陈东辉;典型生物摩擦学结构及仿生[D];吉林大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 梅年松,黄庆安;MEMS薄膜断裂强度测试结构[J];微纳电子技术;2002年12期
2 陈兵芽;刘莹;胡敏;李小兵;李一冰;王强;;微执行器的研究与展望[J];微纳电子技术;2005年12期
3 陈媛媛,夏金松,樊中朝,余金中;热氧化方法改善硅干法刻蚀波导的表面粗糙度[J];半导体学报;2004年11期
4 逯贵祯,王宝发;高斯随机粗糙表面的电磁散射研究[J];电子学报;2002年06期
5 潘玉良,吴立群,张云电;分形模型参数与粗糙度参数R_a关系的研究[J];中国工程科学;2004年05期
6 李伯奎,刘远伟;表面粗糙度理论发展研究[J];工具技术;2004年01期
7 李伯奎,杨凯,刘远伟;分形理论及分形参数计算方法[J];工具技术;2004年12期
8 李智,王向军;微机电系统测试技术及方法[J];光学精密工程;2003年01期
9 李应良,潘武;基于腔结构的射频微机械谐振元件的设计[J];光学精密工程;2004年03期
10 柯熙政,郭立新,吴振森;一维随机粗糙面后向增强效应的蒙特-卡罗方法研究[J];光学学报;1999年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 徐乐;海面目标电磁散射的研究[D];西安电子科技大学;2005年
2 杜晓光;粗糙面电磁散射及其应用[D];西安电子科技大学;2006年
3 韦国晖;高斯和非高斯粗糙面电磁散射的小斜率近似方法研究[D];西安电子科技大学;2006年
4 王薇;分形理论在表面粗糙度非接触测量中的应用[D];吉林大学;2006年
5 刘亮元;分形粗糙表面光散射特性研究[D];电子科技大学;2006年
6 石米娜;基于分形几何的轴类零件表面粗糙度检测[D];吉林大学;2007年
【相似文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 谢端;电子器件噪声的分形分析方法及软件研究[D];西安电子科技大学;2006年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026