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《半导体光电》 2006年05期
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基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器

侯识华  孙捷  毛容伟  吴旭明  马骁宇  谭满清  陈良惠  
【摘要】:采用表面微机械技术制作了一种1 310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器。该滤波器的通光孔直径约为70μm,在1.4 V的调谐电压下,调谐范围达到15 nm。并采用光学传输矩阵方法,分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响。

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【引证文献】
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5 朱诚,张永刚,李爱珍;隧道结在多结太阳电池中的应用[J];稀有金属;2004年03期
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