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《半导体光电》 2006年05期
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基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器

侯识华  孙捷  毛容伟  吴旭明  马骁宇  谭满清  陈良惠  
【摘要】:采用表面微机械技术制作了一种1 310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器。该滤波器的通光孔直径约为70μm,在1.4 V的调谐电压下,调谐范围达到15 nm。并采用光学传输矩阵方法,分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响。

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【引证文献】
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1 刘成;长波长垂直腔面发射激光器器件工艺与光电特性研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
【共引文献】
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9 赵元安;激光偏振膜稳定性研究[D];四川大学;2001年
10 赵秋玲;消色差相位延迟器的测试研究与性能优化设计[D];曲阜师范大学;2001年
【同被引文献】
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5 朱诚,张永刚,李爱珍;隧道结在多结太阳电池中的应用[J];稀有金属;2004年03期
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1 晏长岭;垂直腔面发射激光器的研制及其特性分析[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
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