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《半导体光电》 2006年03期
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嵌入式激光器能量实时控制系统的开发

来五星  史铁林  杨叔子  
【摘要】:为了减少准分子激光器发射的脉冲与脉冲之间的能量的波动变化,给光刻工艺或微细加工的精度带来影响,需要对一系列激光脉冲的总能量进行控制,使单位点所受激光总的能量误差保持在一定容许范围内。基于DSP芯片开发了用于控制激光脉冲能量的实时嵌入式系统,深入研究了嵌入式系统的系统结构、软硬件设计和控制算法,在实际应用中取得了良好的效果。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 胡俊涛;刘翔;张国勇;崔文东;张鹏翔;;眼科准分子激光实时监控能量计[J];中国激光;2007年12期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 蔡荣;唐慧明;高国鲁;;一种高清晰度网络摄像机的硬件设计[J];安防科技;2007年06期
2 周传璘;肖永军;苏贵坡;曾庆栋;;基于双DSP的光电目标跟踪控制系统设计[J];半导体光电;2010年06期
3 高旸;胡向东;;AES算法的DSP实现[J];兵工自动化;2006年01期
4 付光涛;杨占昕;张原;;基于TMS320DM642的视频监控系统[J];北京广播学院学报(自然科学版);2005年04期
5 曹岱鸿;王金涛;;基于DSP的嵌入式Ethernet接入方案设计[J];中国传媒大学学报(自然科学版);2007年03期
6 卓力;王强;王素玉;田卫;沈兰荪;;基于DSP平台的H.264编码与网络传输的实时实现[J];北京工业大学学报;2010年07期
7 张俊;胡向东;;基于DSP的USB2.0高速通信接口设计与实现[J];重庆邮电学院学报(自然科学版);2006年06期
8 李洪霞;潘伟;迟学芬;吴伟刚;;TMS320DM642对视频图像欠采样压缩处理的实现[J];吉林大学学报(信息科学版);2008年02期
9 王雅辉;迟学芬;祝宇鸿;吴伟刚;刘聪;;嵌入式多媒体通信终端中文字交互功能的实现[J];吉林大学学报(信息科学版);2009年01期
10 衣文索;聂春燕;;基于DSP图像处理的CDMA远传系统设计[J];长春大学学报;2008年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 折卫东;程卫东;冯新华;;基于参数化功率谱估计的正弦信号频率估计[A];2007北京地区高校研究生学术交流会通信与信息技术会议论文集(下册)[C];2008年
2 王建东;徐伯夏;;基于DM642的实时图像编解码系统研究[A];全国第二届嵌入式技术联合学术会议论文集[C];2007年
3 彭婧;赵保军;;基于VC++6.0的同步串行电路和异步串行电路控制[A];全国第二届嵌入式技术联合学术会议论文集[C];2007年
4 周述易;范瑞霞;刘惠贞;;基于可编程视频信号输入处理芯片与CPLD的实时视频采集电路的设计[A];先进制造技术论坛暨第三届制造业自动化与信息化技术交流会论文集[C];2004年
5 和巍;林涛;;基于数字信号处理器的电能质量在线监测装置方案设计[A];中南七省(区)电力系统专业委员会第二十二届联合学术年会论文集[C];2007年
6 罗晓莉;刘士彦;周劼;;基于DSP和DDS的扩频信号源的实现[A];中国工程物理研究院第七届电子技术青年学术交流会论文集[C];2005年
7 卢欣;;PCM/FM调制的数字化实现方法[A];中国工程物理研究院第七届电子技术青年学术交流会论文集[C];2005年
8 王刚;王跃科;乔纯捷;;基于以太网的阵列信号采集与处理系统设计[A];第十七届全国测控计量仪器仪表学术年会(MCMI'2007)论文集(上册)[C];2007年
9 莫喜文;卢荣军;;基于DSP/BIOS的PCI设备驱动设计[A];2008通信理论与技术新进展——第十三届全国青年通信学术会议论文集(上)[C];2008年
10 李勇;刘胜;甄体智;;C64x+DSP内核分析及其性能评价[A];第15届全国信息存储技术学术会议论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杨丽;组培苗分割移植机器人系统的研究[D];中国农业大学;2005年
2 王远模;星载毫米波雷达信号处理系统设计理论与实现[D];国防科学技术大学;2005年
3 李香平;基于复合颜色空间与时空域的视频车辆监控系统的研究[D];天津大学;2004年
4 席志红;全方位视觉技术及其在智能移动机器人等领域的应用研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
5 陈升来;基于小波变换的遥感图像压缩及其DSP实现[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
6 宋华军;基于支持向量机的目标跟踪技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
7 刘微;运动模糊图像恢复算法的研究与实现[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
8 杨磊;复杂背景条件下的红外小目标检测与跟踪算法研究[D];上海交通大学;2006年
9 袁军国;分布式马赫—泽德干涉仪的原理与应用研究[D];华中科技大学;2006年
10 王明华;高速水声通信中OFDM的关键技术与应用研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 左宗鹏;基于DSP的车牌识别系统研究[D];安徽工程大学;2010年
2 张君通;基于FPGA的图像采集处理系统研究[D];长春理工大学;2010年
3 张立华;光纤陀螺捷联系统硬件平台的设计与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
4 吴岩;微惯性组合惯导系统设计与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
5 汤继伟;超短基线定位系统数字信号处理硬件和软件的实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
6 程鹏;图像声纳发射与控制模块的设计与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
7 杨慧;多传感器信息融合技术的研究与应用[D];哈尔滨工程大学;2010年
8 高璎园;轨道车辆平轮实时检测技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
9 周瑞;基于TMS320C64x的H.264视频编码器实现[D];大连理工大学;2010年
10 王天宝;数字调音系统的研究与实现[D];大连理工大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 赵友全,范世福,李小霞;生物组织光热传输和热损伤的研究[J];中国激光;2004年05期
2 崔文东;张辉;张国勇;胡骏涛;戴永年;张鹏翔;;原子层热电堆材料的激光感生热电电压[J];中国激光;2007年01期
3 于永爱;张玲玲;唐前进;付文强;胡企铨;;激光束质量实时测量技术[J];中国激光;2007年02期
4 张纪庄;张学学;;激光蚀除生物组织的影响因素[J];中国激光;2007年02期
5 吴建刚;马飞;候金睿;;眼科准分子激光治疗机的原理、结构与应用质量控制[J];医疗卫生装备;2005年12期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 曹明刚;刘翔;张辉;尚杰;段云彪;兰军;张少春;张鹏翔;;La_(2/3)Ca_(1/3)MnO_3∶Ag_x多晶靶材的制备及其电输运性质[J];材料科学与工程学报;2011年02期
2 刘铭;王肇圻;王雁;赵堪兴;;基于个体眼光学结构的角膜与晶状体的像差补偿[J];光学学报;2008年10期
3 王勇;虞澜;陈思功;晏国文;张鹏翔;;原子层热电堆热(光)电探测器的原理及研究现状[J];材料导报;2011年07期
4 邹平;李智东;张辉;赵昆渝;张鹏翔;;脉冲激光沉积法制备Bi_2Sr_2Co_2O_δ热电薄膜及其激光感生的热电电压效应[J];中国激光;2009年08期
5 魏继锋;关有光;周山;彭勇;胡晓阳;张凯;;激光脉冲宽度对长脉冲激光能量在线测量装置的影响[J];中国激光;2010年04期
6 刘翔;胡俊涛;严磊;段云彪;储清梅;冯炜光;潘峰;;La_(1-x)Ca_xMnO_3稀土氧化物多晶材料的制备与性能[J];陶瓷学报;2009年01期
7 邵太平;虞澜;王勇;晏国文;张鹏翔;;YBa_2Cu_3O_(7-x)多晶块材中激光感生电压效应的实验探究[J];热加工工艺;2012年14期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 曹明刚;Ag掺杂LCMO材料制备及LIV效应研究[D];昆明理工大学;2011年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;CO2激光器在塑料产品机械加工行业广泛应用[J];硅谷;2011年14期
2 ;首块激光器和光栅集成的硅芯片问世[J];人工晶体学报;2011年04期
3 郑冬冬;;耶鲁大学研究人员发明世界首台硅基“反激光器”[J];半导体信息;2011年02期
4 韩民强;孔凡旭;李晓岩;;基于DSP的单周控制三相有源电力滤波器控制系统设计[J];科学技术与工程;2011年20期
5 吴琦;;基于DSP技术的数字影像系统的软件设计[J];价值工程;2011年26期
6 李梦辉;李虹;刘鹏;;基于DSP鲁棒PID控制器的电液位置伺服系统电模拟仿真研究[J];工业控制计算机;2011年06期
7 李华;肖文革;王锐;李春洁;刘越;张竞达;;基于DSP的计算机智能电源设计[J];科技创新导报;2011年17期
8 莫树培;刘夏;;基于DS12887的时钟设计[J];科技创新导报;2011年17期
9 俞建军;倪勇;;基于ARM+DSP的网络视频服务器的设计[J];计算机测量与控制;2011年07期
10 杨磊;崔敏;马铁华;万磊;;基于TMS320F2812的数据采集和处理的系统设计[J];电子测试;2011年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 雷杰;;一种嵌入式实时多任务操作系统的研究与应用[A];第三届全国嵌入式技术和信息处理联合学术会议论文集[C];2009年
2 甘金明;;基于DSP的路灯监控视频捕捉器设计[A];全国第二届信号处理与应用学术会议专刊[C];2008年
3 刘希凌;汪渤;郑智辉;;基于DSP+FPGA的机场视频辅助监控系统设计[A];中国自动化学会控制理论专业委员会D卷[C];2011年
4 陈树人;裴文超;尹东富;;基于DSP的棉田杂草实时识别试验研究[A];中国农业工程学会2011年学术年会论文集[C];2011年
5 龚敏;王林泓;龚卫国;杨利平;;基于DSP的心电检测及自诊断系统的设计[A];中国仪器仪表学会医疗仪器分会第四次全国会员代表大会暨2009年学术年会论文集[C];2009年
6 邹垚;张超;;基于DSP的人脸识别算法实现与优化[A];中国通信学会通信建设工程技术委员会2010年年会论文集[C];2010年
7 吴庆国;;A-律μ-律压扩的DSP实现方法研究[A];江苏省电子学会2010年学术年会论文集[C];2010年
8 高艳涛;张旭东;;基于多核DSP的脉冲压缩算法仿真[A];全国第五届信号和智能信息处理与应用学术会议专刊(第一册)[C];2011年
9 ;A Wavelet Transform Power Harmonic Detection Method Based on DSP[A];第二十九届中国控制会议论文集[C];2010年
10 李斌;孔祥东;董杰;;气体参数在线调整装置的DSP控制系统研究[A];中国机械工程学会流体传动与控制分会第六届全国流体传动与控制学术会议论文集[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 徐铮奎;激光器在医疗和美容领域大显身手[N];中国医药报;2009年
2 陈丹;下一代激光器可让“幽灵粒子”显形[N];科技日报;2010年
3 ;网络:45nm多核DSP实现下一代无线标准功能[N];中国电子报;2008年
4 朴淑瑜;首台反激光器在美研制成功[N];科技日报;2011年
5 记者 常丽君;美制成首个活细胞激光器[N];科技日报;2011年
6 小龙;创造DSP辉煌二十年[N];中国电子报;2002年
7 本报记者 汪云;DSP拿得住渠道终端吗?[N];计算机世界;2001年
8 广东 秦合城;DSP与普通MCU的区别[N];电子报;2008年
9 浩军;无线将左右DSP市场[N];中国计算机报;2001年
10 巴丁;中国对激光器的研究[N];学习时报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李辉;改进的离散余弦反变换迭代算法研究与音频DSP核设计[D];电子科技大学;2010年
2 李晓莉;光学参量啁啾脉冲放大技术的研究[D];西安电子科技大学;2010年
3 赵庆亮;基于DSP的自动平衡控制理论与方法研究[D];北京化工大学;2012年
4 江维;任务关键实时系统的可信感知调度研究[D];电子科技大学;2009年
5 邹勇;开放式实时系统的调度方法研究[D];中国科学院研究生院(软件研究所);2003年
6 毛佳;嵌入式实时系统中关键技术的研究[D];吉林大学;2004年
7 巴巍;实时系统动态优先级任务调度算法的研究[D];大连理工大学;2010年
8 梁晶;用于绝对距离测量的He-Ne激光多波长干涉仪的研究[D];国防科学技术大学;2010年
9 张素梅;有机薄膜场效应晶体管和高功率远结激光器的研究[D];吉林大学;2005年
10 王洪君;H.264运动估计快速算法研究及编码器DSP实现[D];天津大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵玉玺;基于DSP的光纤传感测量方法研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 李志鹏;激光雷达接收端数据处理模块设计及实现[D];电子科技大学;2008年
3 屠黎俊;基于DSP的无刷直流电机实验平台的研究[D];东华大学;2010年
4 邵峰;基于DSP控制的并联型三相三线制有源电力滤波器的设计[D];太原理工大学;2010年
5 彭先伟;基于DSP的有源电力滤波器的研究[D];武汉理工大学;2010年
6 应法明;基于DSP的五自由度静电悬浮微陀螺悬浮控制算法的研究[D];上海交通大学;2010年
7 张晋铭;基于DSP的自适应直流调速系统[D];中南大学;2010年
8 王生治;基于DSP的缆索表面图像采集与传输系统设计与研究[D];重庆大学;2010年
9 崔宝峰;基于DSP的振动压路机控制系统研究[D];长安大学;2010年
10 徐艳;基于DSP的图像跟踪系统及跟踪算法的研究[D];长春理工大学;2010年
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