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《半导体光电》 2006年03期
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生长温度对L-MBE制备的ZnO薄膜性能的影响

徐庆安  张景文  杨晓东  巨楷如  贺永宁  侯洵  
【摘要】:在蓝宝石C面上利用激光分子束外延(L-MBE)的方法,分别在250、300、350、400和450℃下生长了高度C轴取向的ZnO薄膜,并对样品进行了X射线衍射、光致发光谱及反射式高能电子衍射的分析。测试结果表明,较低温度时,随着生长温度的升高,薄膜的结晶及发光性能得到提高;但是当温度进一步升高,却有所变差。这说明利用L-MBE系统制备ZnO薄膜存在一合适的温度范围,并对此机理进行了深入分析。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 赵跃智;张俊;丁世敬;;ZnO及掺杂ZnO薄膜的研究进展[J];化工科技;2008年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王艳萍;透明导电掺铝氧化锌薄膜制备及光电性能研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 王金忠,闫玮,王新强,殷景志,姜秀英,杨树人,杜国同,高鼎三,R.P.H.Chang;XRD对ZnO薄膜生长条件和退火工艺的优化[J];半导体光电;2001年03期
2 汪雷;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱研究[J];材料科学与工程;2002年03期
3 杨晓东,张景文,邹玮,侯洵;紫外光电材料ZnO的反应溅射制备及研究[J];光子学报;2002年10期
4 支壮志,李炳生,刘益春,吕有明,申德振,张吉英,孔祥贵,范希武;生长温度对等离子体增强化学气相沉积生长ZnO薄膜质量的影响[J];真空科学与技术;2002年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 周勋;左长明;邹泽亚;廖秀英;姬洪;罗木昌;刘挺;赵红;;二次退火对p型GaN的应变影响[J];半导体光电;2008年03期
2 李建丰;孙硕;欧谷平;张福甲;;Liq/ITO结构表面与界面的AFM和XPS研究[J];半导体光电;2008年03期
3 王丽春;张贵锋;侯晓多;姜辛;;镀铜玻璃衬底上柱状多晶硅薄膜的制备[J];半导体光电;2009年01期
4 朱光耀;顾书林;朱顺明;;MOCVD ZnO缓冲层生长与退火研究[J];半导体技术;2008年S1期
5 郑明波,曹洁明,唐璐,常欣,邓少高,马贤佳,还大军,陶杰,徐国跃;自组装与纳米技术[J];微纳电子技术;2003年Z1期
6 陶涛;苏辉;谢自力;张荣;刘斌;修向前;李毅;韩平;施毅;郑有炓;;PECVD法氮化硅薄膜生长工艺的研究[J];微纳电子技术;2010年05期
7 周昕,顾书林,叶建东,顺明,秦锋,刘伟,胡立群,张荣,施毅,郑有炓;ZnO纳米岛的MOCVD自组装生长[J];半导体学报;2004年07期
8 刘伟,顾书林,叶建东,朱顺明,秦锋,周昕,刘松民,胡立群,张荣,施毅,郑有炓;Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的低压MOCVD生长与性质[J];半导体学报;2004年07期
9 郭学军;卢景霄;文书堂;杨根;陈永生;张庆丰;谷锦华;;功率密度对VHF-PECVD制备μc-Si:H的影响[J];半导体学报;2008年06期
10 王庆富,张鹏程,王晓红,任大鹏,郎定木,张延志;铀表面脉冲电镀纳米镍镀层的组织结构研究[J];表面技术;2004年01期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 胡明;高晓明;孙嘉奕;翁立军;杨军;伏彦龙;汪晓萍;;低温沉积的Ag和Ag-Cu薄膜的耐原子氧性能[A];中国空间科学学会空间材料专业委员会2011学术交流会论文集[C];2011年
2 郝瑞亭;刘焕林;杨宇;;掺杂ZnO薄膜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
3 安红娜;杨祖念;肖定全;余萍;刘志强;黄昕;;电化学法制备钼酸盐和钨酸盐薄膜的生长特性研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(10)[C];2007年
4 李颖;李变晓;邹文俊;董企铭;毛协民;;电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层制备工艺的研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第5分册)[C];2010年
5 郝斌魁;姜雪宁;张庆瑜;陈充林;;基片温度对反应射频磁控溅射法制备掺杂CeO_2电解质薄膜的影响[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 游峰;面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究[D];南开大学;2010年
2 周聪华;染料敏化太阳能电池中电极材料和寄生电阻的研究[D];武汉大学;2009年
3 张晨;基于非线性系统的金沙江攀西河段水系形态及泥石流危害研究[D];吉林大学;2011年
4 唐军;半导体和氧化物表面石墨烯的生长和结构表征及锰掺杂碳化硅稀磁半导体研究[D];中国科学技术大学;2011年
5 张洪亮;几种光电材料的制备及性能研究[D];兰州大学;2011年
6 王姝;Al_2O_3、B掺杂的FeCo基薄膜的结构和磁性研究[D];兰州大学;2011年
7 孔令沂;镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备与性质研究[D];山东大学;2011年
8 刘芳洋;金属硒化物薄膜的电沉积制备及基础理论研究[D];中南大学;2011年
9 韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
10 陈建林;Al掺杂与Al-Sc共掺杂ZnO薄膜的制备、微观组织及光电性能[D];湖南大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李冲;超导材料性质和半导体表面重构及表面合金性质[D];郑州大学;2010年
2 王文杰;氧化钛基光电子器件[D];郑州大学;2010年
3 姜雅丽;La_2Mo_3O_(12)薄膜的制备和光学性能的研究[D];郑州大学;2010年
4 程慧;正交相Y_2Mo_3O_(12)薄膜的制备及光吸收性能研究[D];郑州大学;2010年
5 陈伟绩;玻璃衬底上GaN和InN制备的研究[D];大连理工大学;2010年
6 王涛;镍/铁沉积薄膜微观结构及其特性的分子动力学研究[D];湘潭大学;2010年
7 孟庆蕾;提高有机太阳电池中空穴输出效率方法的研究[D];江南大学;2010年
8 邓其明;PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究[D];电子科技大学;2010年
9 郭正宇;黑硅材料的制备及特性研究[D];电子科技大学;2010年
10 李艳;PVD技术制备铂基掺铈薄膜及其结构研究[D];昆明理工大学;2009年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李村;权传斌;徐洪耀;何金花;张现利;;掺铝氧化锌ZAO(ZnO∶Al)薄膜研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2007年05期
2 方亮;彭丽萍;杨小飞;李艳炯;孔春阳;;In掺杂ZnO透明导电薄膜光电性质的研究[J];半导体光电;2009年01期
3 李世平;李玲;;溶胶-凝胶法制备ZnO:Al(ZAO)薄膜的光电特性[J];半导体技术;2006年10期
4 李娜,李宁,陆卫,窦红飞,陈张海,刘兴权,沈学础,H.H.Tan,LanFu,C.Jagadish,M.B.Johnston,M.Gal;MOCVD与MBE生长GaAs/AlGaAs量子阱材料的红外探测器特性比较[J];半导体学报;2000年05期
5 赵跃智;陈长乐;金克新;高国棉;;半导体PbSe薄膜的研究进展[J];材料导报;2005年07期
6 张化福;类成新;刘汉法;袁长坤;;直流磁控溅射法制备ZnO∶Zr透明导电薄膜及性能研究[J];材料导报;2009年06期
7 吕敏峰,崔作林,张志焜;Sol-Gel法制备ZnO∶Al透明导电薄膜[J];材料科学与工程学报;2003年02期
8 葛启函;邓宏;陈航;徐自强;;不同掺Al~(3+)浓度的ZnO:Al薄膜性能研究[J];电子科技大学学报;2006年02期
9 李金丽;邓宏;刘财坤;;AZO透明导电薄膜的结构与光电性能[J];电子元件与材料;2007年01期
10 林碧霞,傅竹西,贾云波,廖桂红;溅射方法生长的氧化锌薄膜的阴极射线和光致发光特性[J];发光学报;2001年02期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 陈薇薇;刘志学;张冰;赵立萍;;Cu夹层厚度对ZnO薄膜的光电性能的影响[J];黑龙江科技信息;2012年06期
2 田晓亮;孙婉婷;谢明政;井立强;;ZnO纳米棒阵列在TiO_2介孔薄膜上的生长及其表征[J];无机化学学报;2012年07期
3 赵林;黄毅;马健;苗峰;;微波烧结ZnO陶瓷的抗压强度研究[J];西南民族大学学报(自然科学版);2012年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张永哲;掺杂ZnO光学性质及染料敏化太阳能电池研究[D];兰州大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 许飞;射频反应磁控溅射制备ZAO薄膜及其光电性质研究[D];华东理工大学;2012年
2 徐为为;稀土硼铝酸盐荧光材料的发光性质及其机理的研究[D];吉林大学;2009年
3 田丹丹;透明导电薄膜ZAO的制备与特性研究[D];天津大学;2009年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 王金忠,闫玮,王新强,殷景志,姜秀英,杨树人,杜国同,高鼎三,R.P.H.Chang;XRD对ZnO薄膜生长条件和退火工艺的优化[J];半导体光电;2001年03期
2 李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏;硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J];半导体学报;1996年11期
3 贺洪波,范正修,姚振钰;多种基底上溅射沉积ZnO薄膜的结构[J];功能材料与器件学报;1999年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李金华;张吉英;赵东旭;张振中;吕有明;申德振;范希武;;Fe掺杂ZnO纳米薄膜的光致发光(英文)[J];发光学报;2006年06期
2 徐庆安;张景文;杨晓东;巨楷如;贺永宁;侯洵;;生长温度对L-MBE法制备的ZnO薄膜性能的影响[J];人工晶体学报;2006年02期
3 王艳坤;韩春亮;林钰;张建民;;纳米ZnO/ITO导电玻璃复合材料的制备及其光学性能研究[J];河南教育学院学报(自然科学版);2010年04期
4 李金华;张吉英;赵东旭;吕有明;申德振;范希武;;Mn掺杂浓度对ZnO纳米薄膜的结构和光致发光的影响[J];液晶与显示;2006年06期
5 马仙梅;荆海;马凯;王龙彦;王中健;;ZnO薄膜及ZnO-TFT的性能研究[J];液晶与显示;2009年03期
6 文军;;La掺杂氧化锌纳米颗粒的室温拉曼特性[J];河北师范大学学报(自然科学版);2010年05期
7 苏凤莲;汪洪;李爱侠;刘艳美;周圣明;;用PLD法在MgO(100)衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年02期
8 王清涛;;低温电化学沉积ZnO薄膜及光学性质[J];光散射学报;2007年03期
9 刘艳美;孙侠;李敏;吕庆荣;宋学平;吴明在;方庆清;;Co掺杂对ZnO纳米棒阵列的结构和性质的影响[J];安徽大学学报(自然科学版);2010年06期
10 孙柏;邹崇文;刘忠良;徐彭寿;张国斌;;衬底温度对PLD方法生长的ZnO薄膜结构和发光特性的影响[J];无机材料学报;2006年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张景文;徐庆安;杨晓东;贺永宁;王洪波;张伟风;侯洵;;ZnO自组织量子点的L-MBE外延生长[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2 周小芳;;准单晶ZnO薄膜的制备及其光学特性研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
3 江浩;顾锋;李春忠;;水含量对溶剂热合成ZnO微结构的影响[A];中国颗粒学会第六届学术年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会论文集(上)[C];2008年
4 沈伟;彭德全;沈晓丹;;先进无机材料表面的金属化—ZnO薄膜技术[A];全国第六届SMT/SMD学术研讨会论文集[C];2001年
5 沈伟;彭德全;沈晓丹;;先进无机材料表面的金属化——ZnO薄膜技术[A];2001年全国电子电镀年会论文集[C];2001年
6 王齐;周大成;邱建备;;稀土掺杂ZnO材料的发光特性研究进展[A];战略性新兴产业的培育和发展——首届云南省科协学术年会论文集[C];2011年
7 阮永丰;井红旗;黄伯贤;;多孔氧化铝模板内的ZnO发光的频移[A];华北地区硅酸盐学会第八届学术技术交流会论文集[C];2005年
8 吴尝;朱克荣;周广东;;ZnO纳米晶的拉曼光谱[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
9 张铮;黄运华;李萍;廖庆亮;张跃;;基于ZnO纳米阵列的应力传感器构建及性能测试[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
10 朱瑞;许宏钧;孙杨慧;张敬民;陈莉;徐军;俞大鹏;;原位观察单根ZnO纳米线同质外延生长[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 李禾;吕惠宾:让分子无处遁形[N];科技日报;2004年
2 赵雪;这里不光是阳春白雪[N];科技日报;2004年
3 麦芸编译;体内“天书”待解读[N];医药经济报;2002年
4 本报记者 梁红兵;关注超高亮度LED产业化[N];中国电子报;2002年
5 本报记者 李宏乾;纳米涂料:大力发展 谨慎宣传[N];中国化工报;2002年
6 聂翠蓉;从分子生物学到系统生物学[N];科技日报;2003年
7 李斌;我国率先测定“蚓激酶”三维结构[N];人民日报海外版;2003年
8 新讯;英国庆祝DNA结构发现五十周年[N];医药经济报;2003年
9 李斌;我国率先测定“蚓激酶”三维结构[N];医药经济报;2003年
10 吴井洲;合成麻黄素不逊“天然植物提取”[N];中国环境报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 隋瑛锐;共掺杂p型ZnO和富氮Zr-N薄膜的制备、性能及表征[D];吉林大学;2010年
2 杨通;P型ZnO薄膜的制备及其结构、光学和电学性质的研究[D];吉林大学;2011年
3 汤琨;ZnO中的杂质行为与p型掺杂[D];南京大学;2011年
4 张晓;ZnO基宽禁带稀磁半导体材料的制备及性能研究[D];南开大学;2010年
5 刘洋;过渡元素掺杂ZnO稀磁半导体的制备及性质研究[D];江苏大学;2011年
6 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
7 孙利杰;ZnO薄膜的掺杂和光电性质研究[D];中国科学技术大学;2010年
8 陈韬;ZnO薄膜的制备及其晶体管性能研究[D];复旦大学;2010年
9 吴兆丰;Co、Cr、Cu、Mn等过渡金属掺杂ZnO薄膜的合成与性能研究[D];苏州大学;2010年
10 胡懿;氧氩比和氢离子注入对ZnO薄膜微结构及光学性能的影响[D];武汉大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈希;ZnO薄膜晶体管的制备及CdS_xSe_(1-x)量子点光学特性研究[D];大连理工大学;2009年
2 张秀芳;磁控溅射法制备ZnO薄膜及特性研究[D];哈尔滨理工大学;2009年
3 陈慧;ZnO薄膜和异质结构的光电性能研究[D];南京大学;2011年
4 锁雅芹;Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的结构及光学性质研究[D];兰州大学;2010年
5 赵涛;PLD制备掺铜ZnO薄膜结构与光学性质研究[D];曲阜师范大学;2011年
6 冯立兵;ZnO纳米材料的制备、表征及性能研究[D];山东师范大学;2010年
7 范晓玲;磁控溅射法制备ZnO薄膜及光电导探测器的研制[D];山东理工大学;2010年
8 谢炜;ZnO与TiO_2的光催化及其光电转换耦合性能的比较[D];武汉理工大学;2010年
9 吕金鹏;Al~(3+)掺杂抗静电改性ZnO颜料制备及其质子辐照效应[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 孙英岚;不同衬底上ZnO纳米棒阵列的水溶液法生长及其同步辐射XANES电子结构研究[D];大连理工大学;2011年
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