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《半导体光电》 2006年01期
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氧化锌薄膜紫外光电导机理研究

李琳  季振国  张亚红  韩伟智  
【摘要】:分别采用反应磁控溅射和金属锌膜空气中热氧化两种方法,制备了两种氧化锌薄膜。X射线衍射实验发现,反应磁控溅射法制备的氧化锌薄膜结晶性能好,具有很高的c轴取向性,而金属锌膜热氧化法制备的氧化锌薄膜结晶性能相对较差,晶粒取向呈随机分布。对上述两种氧化锌薄膜进行了光电导测试,结果表明,反应磁控溅射制备的氧化锌薄膜的电阻率很高,没有明显的光电导,而金属锌膜氧化法制得的氧化锌薄膜电阻率较小,光电导现象非常明显。进一步分析结果表明,金属锌膜热氧化制备的氧化锌薄膜的光电导主要来自于表面吸附气体的吸附与解吸。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 俞亮燕;魏取福;汪莹莹;李琪;;非织造布表面反应溅射沉积ZnO薄膜及其结构与性能分析[J];材料导报;2007年S3期
2 何为桥;钟敏;王翰;付贤树;葛洪良;;ZnO纳米棒的制备及光催化性能研究[J];稀有金属材料与工程;2010年S2期
3 何俊刚;陈环;王莉;刘志宇;傅刚;;ZnO薄膜紫外光敏特性及晶界势垒的研究[J];电子元件与材料;2009年12期
4 张天宝;李金培;;紫外光照射对掺铝氧化锌薄膜导电和透光性质的影响[J];影像科学与光化学;2010年02期
5 李建国;蒋向东;王继珉;向斌宾;;S掺杂ZnO薄膜光电特性的研究[J];材料导报;2012年06期
6 宋晓靓;马彦良;欧阳晓平;屠荆;;ZnO(In)闪烁体在α粒子辐照下的发光特性[J];原子能科学技术;2010年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 刘伟星;一维半导体纳米线的制备及性能研究[D];天津大学;2007年
2 俞亮燕;反应溅射制备纳米ZnO功能纺织材料及其性能表征[D];江南大学;2008年
3 吴一晨;Sn、Cr掺杂In_2O_3薄膜的制备及光敏性质研究[D];天津理工大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 吕建国,叶志镇,黄靖云,赵炳辉,汪雷;退火处理对ZnO薄膜结晶性能的影响[J];半导体学报;2003年07期
2 吕文中,贾小龙,何笑明;直流磁控溅射工艺对ZnO薄膜结构影响的研究[J];人工晶体学报;2004年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 胡春香;陶向阳;;脉冲激光沉积ZnO薄膜的结构和光学特性[J];安阳师范学院学报;2006年02期
2 杨兵初;高飞;刘晓艳;;氮气中退火对ZnO薄膜结构与光学性能的影响[J];半导体光电;2007年03期
3 朱丽红;许海军;姚志涛;李新建;;ZnO/Si纳米孔柱阵列的真空蒸镀及其光致发光特性[J];半导体光电;2008年01期
4 孙剑;白亦真;谷建峰;刘明;张庆瑜;;基片温度对金刚石上沉积ZnO薄膜特性的影响[J];半导体光电;2008年06期
5 杜鹏;邱美艳;孙以材;潘国锋;;磁控溅射法制备SnO_2-CuO薄膜及其气敏特性研究[J];半导体技术;2007年09期
6 刘黎明;杨培志;;RF反应磁控溅射纳米晶ZnO薄膜的XRD和XPS研究[J];微纳电子技术;2007年09期
7 朋兴平,王印月,方泽波,杨映虎;In掺杂对ZnO薄膜结构及光学特性的影响[J];半导体学报;2005年04期
8 郭俊福;谢家纯;段理;何广宏;林碧霞;傅竹西;;Au/n-ZnO/p-Si结构的紫外增强型光电三极管的研制(英文)[J];半导体学报;2006年01期
9 周新翠;叶志镇;陈福刚;徐伟中;缪燕;黄靖云;吕建国;朱丽萍;赵炳辉;;MOCVD法制备磷掺杂p型ZnO薄膜[J];半导体学报;2006年01期
10 李瑛;冯士维;杨集;张跃宗;谢雪松;吕长志;卢毅成;;ZnO单晶薄膜光电响应特性[J];半导体学报;2006年01期
中国重要会议论文全文数据库 前6条
1 郝瑞亭;刘焕林;杨宇;;掺杂ZnO薄膜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
2 方庆清;汪金芝;焦永芳;李锐;;Co含量对Zn_(0.6)Co_xFe_(2.4-x)O_4结构与磁性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
3 陈宇晖;姜建华;黄月霞;朱源泰;韦莉;;溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌透明导电膜及其性能研究[A];上海市化学化工学会2010年度学术年会论文集[C];2010年
4 ;The Fabrication and Study of ZnO-based Thin Film Transistors[A];Proceedings of Asia Display 2007(Volume 1)[C];2007年
5 ;The effects of oxygen partial pressure and substrate temperature on the structural and optical properties of ZnO films[A];Proceedings of Photonics Asia 2004;Optoelectronics,Microelectronics,and Nanotech——5644volume[C];2004年
6 汲明亮;李凤岩;何青;李伟;孙云;刘唯一;徐传明;周志强;;射频溅射氧化锌薄膜晶体结构和电学性质[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 钟泽;ZnO和AlN薄膜的MOCVD生长及其性质研究[D];中国科学技术大学;2010年
2 周小芳;一些简单氧化物半导体薄膜的LIV效应及其输运性质研究[D];昆明理工大学;2010年
3 李莹滢;一维半导体纳米材料制备、性能及辐射探测器件研究[D];南京航空航天大学;2009年
4 赵东旭;氧化锌基材料紫外发光性质研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
5 杨小天;MOCVD法ZnO薄膜生长及其紫外探测器的制备与初步研究[D];吉林大学;2004年
6 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
7 马艳;ZnO薄膜的MOVPE法生长、掺杂及X光取向研究[D];吉林大学;2004年
8 刘英麟;电化学自组装金属氧化物及其复合结构和光电器件的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
9 秦秀娟;纳米氧化锌常压/超高压下的烧结及其结构与性能[D];燕山大学;2005年
10 韩永昊;金刚石对顶砧上原位电导率测量方法[D];吉林大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王铁柱;基于硅基波导声光移频器理论与技术的研究[D];长春理工大学;2010年
2 单海燕;ZnO薄膜的水溶液法制备及Li~+、柠檬酸钠对ZnO生长的影响[D];大连理工大学;2010年
3 贾波;铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶—凝胶法制备及性能[D];中国海洋大学;2010年
4 翟纪伟;氧化亚铜粉末、薄膜的制备及其光催化性能研究[D];中国海洋大学;2010年
5 杜芳黎;稀土配合物的合成、表征及掺杂氧化锌的制备与性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
6 史新福;直流反应和射频磁控溅射制备的Al掺杂ZnO薄膜结构与光学性质[D];西北师范大学;2010年
7 周婷婷;Fe的不同掺杂量对ZnO光致发光的影响和ZnO/SiO_2复合薄膜结构特性的研究[D];西北师范大学;2010年
8 段相彬;双金属掺杂ZnO薄膜的制备及光电性能[D];哈尔滨工业大学;2010年
9 彭金强;磁控溅射法制备优质氮化镓衬底生长用缓冲层氧化锌薄膜[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 张晓利;Fe和C离子双注入ZnO薄膜结构和物理性质研究[D];天津大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 程晨;纳米材料的特异效应及应用[J];安徽建筑工业学院学报(自然科学版);2005年04期
2 闫晓燕,卫英慧,胡兰青,许并社;纳米氧化锌的制备及其应用[J];兵器材料科学与工程;2002年06期
3 贾嘉;溅射法制备纳米薄膜材料及进展[J];半导体技术;2004年07期
4 李华乐;成立;王振宇;李加元;贺星;瞿烨;;新型半导体纳米材料的主要制备技术[J];半导体技术;2006年03期
5 范志新,孙以材,陈玖琳;氧化物半导体透明导电薄膜的最佳掺杂含量理论计算[J];半导体学报;2001年11期
6 马德伟,叶志镇,黄靖云,赵炳辉;直流反应磁控溅射Zn_(1-x)Cd)_xO薄膜的研究[J];半导体学报;2003年10期
7 李瑛;冯士维;杨集;张跃宗;谢雪松;吕长志;卢毅成;;ZnO单晶薄膜光电响应特性[J];半导体学报;2006年01期
8 刘宗顺;赵德刚;朱建军;张书明;段俐宏;王海;史永生;刘文宝;张爽;江德生;杨辉;;高响应度GaN肖特基势垒紫外探测器的性能与分析[J];半导体学报;2007年04期
9 张德恒;透明导电膜中光吸收边的移动[J];半导体杂志;1998年03期
10 鲁大学;;透明导电氧化物镀膜玻璃在光伏电池中的应用[J];玻璃;2008年10期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 申林;掺镧钛酸铋粉体、陶瓷及薄膜的溶胶-凝胶制备技术与性能研究[D];四川大学;2002年
2 刘新典;铟、锌、钛基透明导电氧化物的电子结构及光电性质[D];天津大学;2008年
3 杨帆;镓铟氧化物薄膜的制备及性质研究[D];山东大学;2009年
4 张波;高价金属元素掺杂透明导电ITO薄膜的研究[D];上海交通大学;2009年
5 张军琴;宽禁带半导体MSM结构紫外探测器的研究[D];西安电子科技大学;2009年
6 邢鹏飞;铁掺杂氧化铟铁磁性半导体薄膜的生长及性能研究[D];山东大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 高荣顺;ZnO紫外光敏电阻制备及电子能带分析[D];广州大学;2008年
2 汪钢;磁控溅射法制备ITO薄膜的结构及光电性能研究[D];哈尔滨理工大学;2009年
3 胡雪梅;透明导电氧化物半导体的制备及电学性质研究进展[D];东北师范大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 邹彩琼;贾漫珂;曹婷婷;罗光富;黄应平;;纳米ZnO的制备、改性及光催化研究进展[J];内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版);2011年05期
2 张天宝;李金培;;厚度对掺铝氧化锌透明导电薄膜性质的影响[J];辽宁化工;2011年12期
3 吕灵燕;;氧化锌薄膜的光电性能研究[J];海峡科学;2012年07期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王琴;溶胶—凝胶法制备棒状氮掺杂纳米氧化锌及其性能研究[D];苏州大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 李剑光,叶志镇,汪雷,赵炳辉,袁骏,阙端麟;用于制备GaN的硅基ZnO过渡层的高温热处理研究[J];半导体学报;1999年10期
2 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
3 李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏;硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J];半导体学报;1996年11期
4 马瑾,计峰,李淑英,马洪磊;退火处理对氧化锌透明导电膜的结构及电学特性的影响[J];半导体学报;1998年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 卓世异;刘学超;熊泽;陈之战;杨建华;施尔畏;;非磁性元素掺杂ZnO稀磁半导体研究进展[J];人工晶体学报;2011年04期
2 孙迎伟;胡木林;周志刚;;掺入SiO_2纳米颗粒对厚膜ZnO气敏传感器气敏性能的影响[J];传感技术学报;2011年06期
3 何天禄;周天勇;刘成明;钟江泉;;纳米梯度涂层在PCB微钻中的应用[J];技术与市场;2011年08期
4 陈瀚;;ZnO薄膜的制备及应用[J];材料开发与应用;2011年04期
5 赖忠良;李莉;张勇;贾易洪;唐代飞;;磁控溅射台电控系统的改造[J];半导体光电;2011年03期
6 刘启发;王艳;汪红;丁桂甫;;应用于等离子体显示器的铝电极及其介质层制备研究[J];真空科学与技术学报;2011年04期
7 王古平;李志刚;陈卫平;;添加锂微量掺杂物对锰掺杂ZnO铁磁性能的提高[J];稀有金属;2011年04期
8 陈峰华;张敏刚;柴跃生;杨利斌;熊杰;;Ni-Mn-Ga磁控溅射靶材合金制备及性能[J];微纳电子技术;2011年09期
9 周志刚;周春红;胡木林;;纳米ZnO浆料的制备研究[J];传感技术学报;2011年08期
10 黄新丽;马书懿;马李刚;孙爱民;;生长ZnO薄膜的氧分压对ZnO/PS体系光学性能的影响[J];光电子.激光;2011年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 江浩;顾锋;李春忠;;水含量对溶剂热合成ZnO微结构的影响[A];中国颗粒学会第六届学术年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会论文集(上)[C];2008年
2 沈伟;彭德全;沈晓丹;;先进无机材料表面的金属化—ZnO薄膜技术[A];全国第六届SMT/SMD学术研讨会论文集[C];2001年
3 沈伟;彭德全;沈晓丹;;先进无机材料表面的金属化——ZnO薄膜技术[A];2001年全国电子电镀年会论文集[C];2001年
4 王齐;周大成;邱建备;;稀土掺杂ZnO材料的发光特性研究进展[A];战略性新兴产业的培育和发展——首届云南省科协学术年会论文集[C];2011年
5 吴尝;朱克荣;周广东;;ZnO纳米晶的拉曼光谱[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
6 张铮;黄运华;李萍;廖庆亮;张跃;;基于ZnO纳米阵列的应力传感器构建及性能测试[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
7 周小芳;;准单晶ZnO薄膜的制备及其光学特性研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
8 朱瑞;许宏钧;孙杨慧;张敬民;陈莉;徐军;俞大鹏;;原位观察单根ZnO纳米线同质外延生长[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
9 万正芬;徐天宁;吴惠桢;原子健;邱东江;;ZnO薄膜光致发光的表面等离子体增强效应[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
10 郭冠军;罗莉;戴强钦;黄方映;姚丽丽;;多孔氧化铝模板制备ZnO及其发光性能的研究[A];2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集(第一卷)[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 李凝曹丙利;中国科学家在MgB_(2)薄膜研究领域取得重要成果[N];科技日报;2008年
2 膜慷;气调性包装特殊薄膜的透氧率测定[N];中国包装报;2006年
3 中国建材技术装备总公司高级工程师 孙廷祥;防眩光是汽车膜最重要的性能[N];中国消费者报;2004年
4 信息产业部电子信息产品管理司 王勃华;技术水平不断提高 部分产品有所突破[N];中国电子报;2001年
5 记者 李凝曹丙利;我研制出新型超导材料[N];科技日报;2008年
6 顾家建;镀铝薄膜透湿率与相对湿度间的非线性现象研究[N];中国包装报;2006年
7 王桂兰 杨春莉;强生膜推出高端建筑陶瓷膜[N];中国建材报;2010年
8 本报记者 孙颖;北仪创新:真空龙头[N];中国企业报;2010年
9 王翁阳 赵丽琳;宜良37户烟农获赔5万元[N];云南日报;2006年
10 王亚彬;包装材料透光性的测试与研究[N];中国包装报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张晓;ZnO基宽禁带稀磁半导体材料的制备及性能研究[D];南开大学;2010年
2 杨通;P型ZnO薄膜的制备及其结构、光学和电学性质的研究[D];吉林大学;2011年
3 汤琨;ZnO中的杂质行为与p型掺杂[D];南京大学;2011年
4 刘洋;过渡元素掺杂ZnO稀磁半导体的制备及性质研究[D];江苏大学;2011年
5 隋瑛锐;共掺杂p型ZnO和富氮Zr-N薄膜的制备、性能及表征[D];吉林大学;2010年
6 陈韬;ZnO薄膜的制备及其晶体管性能研究[D];复旦大学;2010年
7 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
8 龚丽;ZnO基透明导电膜的制备与掺杂研究[D];浙江大学;2011年
9 周阳;透明ZnO薄膜与铁电薄膜的集成研究[D];河北大学;2011年
10 胡懿;氧氩比和氢离子注入对ZnO薄膜微结构及光学性能的影响[D];武汉大学;2010年
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1 于春花;Zn_(1-x)Cr_xO稀磁半导体薄膜的制备和性能研究[D];天津理工大学;2007年
2 何维凤;磁控溅射法制备ZnO透明导电薄膜组织与性能研究[D];江苏大学;2005年
3 梁俊华;基于薄膜晶体管应用的功能薄膜AIN和ZnO的生长与特性研究[D];浙江大学;2006年
4 王颖蕾;掺杂ZnO稀磁材料薄膜的制备工艺及室温磁性研究[D];天津理工大学;2010年
5 缪灯奎;玻璃基ZnO基薄膜的喷雾热分解法制备和表征[D];武汉理工大学;2010年
6 朱文君;ZnO纳米棒状结构制备及其光电器件研究[D];吉林大学;2010年
7 张晓利;Fe和C离子双注入ZnO薄膜结构和物理性质研究[D];天津大学;2010年
8 吴定才;Co、Cu共掺杂ZnO薄膜的制备及性质研究[D];四川师范大学;2010年
9 叶鑫;利用磁控溅射和溶胶—凝胶法制备ZnO-TFT及相关因素的研究[D];北京交通大学;2011年
10 范晓玲;磁控溅射法制备ZnO薄膜及光电导探测器的研制[D];山东理工大学;2010年
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