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《半导体光电》 2005年04期
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光纤测厚中光谱“双峰”现象的分析

孙艳  赵宏  王昭  
【摘要】:在用反射干涉频谱法(Rifs)测量薄膜厚度的过程中,薄膜的反射光谱经常见到“双峰”现象,即相邻的波峰(或波谷)连在一起,区别于通常按吸收曲线有规律分布的光谱。对该现象进行了深入研究,结果表明:该现象和被测试处薄膜厚度不均匀有关,当厚度差异较大时,入射光在薄膜的不同厚度点发生反射,各点的反射干涉光谱叠加就会产生“双峰”的结果。对基本厚度为2 000 nm的聚苯乙烯薄膜的仿真结果表明:膜厚差异超过1/10,开始出现双峰。研究还表明,“双峰”现象并不影响厚度计算的准确度。

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