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微机械连续薄膜变形反射镜

闫金良  
【摘要】:建立了微机械连续薄膜变形反射镜的静电力驱动理论模型,推导出微机械连续薄膜变形反射镜的变形位移和驱动电压的关系表达式,利用该公式、静电力表达式和弹性支撑的回复力分析了变形镜的稳定工作驱动、不稳定工作驱动和最大变形位移,讨论了变形镜的结构参数对变形位移的影响。所得结果对于设计微机械连续薄膜变形反射镜具有重要意义。

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