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《半导体光电》 2004年06期
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近红外光学膜厚监控系统的研制

江绍基  马云飞  佘卫龙  王自鑫  朱析  蔡志岗  李宝军  
【摘要】: 在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控。运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,研制了锁相放大器和改装近红外探头组成的近红外光学膜厚监控系统,成功实现近红外膜厚监控信号的压噪、放大、滤波和检测监控。

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 张怀宝;近红外光谱分析技术在烟草成分分析中的可用性研究[D];山东大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 李国正,李道全,刘恩科;1.52μm红外光电探测器[J];半导体光电;1994年03期
2 梁万国,罗森林,周思永,郭正强;光电探测器的设计[J];半导体光电;1998年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张勇,刘海江;微机控制红外双色测温仪[J];鞍山钢铁学院学报;1995年04期
2 付文羽;硅光电二极管的线性度及信噪比分析[J];半导体光电;2003年04期
3 李文臣,阎强,韩华英,秦世才;智能介质膜厚度测试仪的研制[J];半导体杂志;1997年02期
4 潘雄;宋凝芳;金靖;田海亭;;三轴一体轻小型光纤陀螺仪的时序设计[J];北京航空航天大学学报;2006年11期
5 程德福,林君,于生宝,段清明,朱凯光,稽艳鞠;瞬变电磁法弱信号检测技术研究[J];吉林大学学报(信息科学版);2002年02期
6 范松南;蔡萍;;取样积分在射频导纳物位测量中的应用[J];传感技术学报;2006年06期
7 刘国福,杨波 ,张屺;MAX038及其在智能涡流检测仪中的应用[J];传感器世界;1998年12期
8 邹燕;冯丽爽;张春熹;刘军;;锁定放大器在微弱光信号检测中的应用[J];电测与仪表;2005年11期
9 殷克功,刘荣忠,史争军,黄忠华;数据融合技术在末敏弹目标识别中的应用[J];弹道学报;2003年01期
10 杨祥龙,汪乐宇;随机共振技术在弱信号检测中的应用[J];电路与系统学报;2001年02期
中国重要会议论文全文数据库 前6条
1 马云飞;王自鑫;江绍基;佘卫龙;朱析;李宝军;蔡志岗;;光学镀膜近红外监控的信号压噪[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2 谢立强;吴学忠;李圣怡;;相关检测与自动增益控制在音叉式石英微陀螺中的应用[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
3 余亮琴;罗兵;吴学忠;李圣怡;;微陀螺微弱信号数字处理技术的分析与仿真[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
4 朱虹;林君;王智宏;占细雄;;参考信号频率自调整的锁定放大器的设计应用[A];中国仪器仪表学会第六届青年学术会议论文集[C];2004年
5 马云飞;王自鑫;江绍基;佘卫龙;朱析;蔡志岗;李宝军;;光学镀膜近红外膜厚监控的信号压噪[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
6 Xu Jun Zhang Yaohui Zhang Xinxi Department of Control Engineering Academy of Armored Force Engineering,Beijing 100072,P.R.C;A New Method of Increase Sensitivity for Weak Signal Test[A];Proceedings of 6th International Symposium on Test and Measurement(Volume 6)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王银峰;扫描隧道显微术的理论基础和大范围、快速扫描关键技术的研究[D];重庆大学;2002年
2 郭增军;基于光谱吸收光纤甲烷气体传感系统的研究[D];燕山大学;2003年
3 谢元平;机械抖动激光陀螺鉴相解调与稳频技术的研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2000年
4 杨祥龙;随机共振理论在弱信号检测中的应用研究[D];浙江大学;2003年
5 侯培国;分布式光纤温度传感系统的理论与实验研究[D];燕山大学;2003年
6 周云耀;超宽频带与甚宽频带地震计精确标定技术研究及其应用[D];中国地震局地球物理研究所;2004年
7 徐雁;光电直流电流及谐波电流互感器的研究[D];华中科技大学;2004年
8 杨定新;微弱特征信号检测的随机共振方法与应用研究[D];国防科学技术大学;2004年
9 仝猛;科氏质量流量计理论与应用研究[D];西北工业大学;2003年
10 刘铁军;工程电导测试技术及应用研究[D];浙江大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 付松年;光纤气体相关光谱检测的研究[D];厦门大学;2001年
2 黄忠华;末敏弹系统的目标识别[D];南京理工大学;2002年
3 王鑫;电子技术在微波、磁共振实验中的应用[D];东北师范大学;2002年
4 王晓娜;光纤温度位移测量的理论与实验的研究[D];燕山大学;2002年
5 刘华生;光谱仪控制、采集部分的改进设计及荧光光谱技术用于肝病诊断的研究[D];大连理工大学;2002年
6 朱天淳;带有全息滤光片的激光共焦扫描系统用于基因芯片检测的实验研究[D];苏州大学;2002年
7 安鹏飞;激光识别与通信系统若干问题的研究[D];长春理工大学;2002年
8 韩军;便携式多用途光色测量仪的研究[D];浙江大学;2002年
9 许明海;屏幕颜色特性的非接触测试技术研究[D];浙江大学;2002年
10 熊凯;脉冲光源色度评价研究[D];浙江大学;2002年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 毕卫红,唐予军,杨小莉,李超;基于AOTF的便携式近红外光谱测量仪[J];半导体光电;2005年03期
2 李晓薇,赵环环,赵龙莲,严衍录;用近红外光谱定量分析混纺毛织品中羊毛的质量分数[J];东华大学学报(自然科学版);2000年03期
3 袁洪福,龙义成,徐广通,陆婉珍;近红外光谱仪的研制[J];分析化学;1999年05期
4 李大群;;近红外漫反射光谱分析中新的数据处理方法[J];分析仪器;1990年03期
5 谭爱民;满瑞林;徐金华;赵新那;王文真;;偏最小二乘回归法与近红外漫反射分析结合测定小麦和大豆中的蛋白质[J];分析仪器;1992年01期
6 范世福;光学分析仪器技术的若干新进展[J];分析仪器;1994年02期
7 高荣强,范世福;现代近红外光谱分析技术的原理及应用[J];分析仪器;2002年03期
8 卢利军,庄树华,李爱军,吴剑,张少杰;应用近红外技术测定黄豆粕中水分、蛋白质和粗脂肪[J];分子科学学报;2001年02期
9 曹干;现代近红外光谱分析技术在农业研究中的应用[J];广东农业科学;2004年S1期
10 沈文浩,谢益民,刘焕彬;近红外光谱技术在制浆造纸工业中的应用[J];广东造纸;1999年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 吴君琦;我国林纸一体化发展的趋势与对策研究[D];中国林业科学研究院;2002年
【相似文献】
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1 朱铄金;朱丽慧;黄清伟;;6.5~14μm红外长波通滤光片正面膜系的研制[J];光学仪器;2009年03期
2 谭衢霖;STEVE Johansen;;基于像元和对象分类的城区植被高分辨率遥感制图比较研究[J];应用基础与工程科学学报;2011年03期
3 冯博宇;;自然火灾遥感监测研究进展[J];科技传播;2011年14期
4 戴晔;何敏;阎晓娜;马国宏;;近红外飞秒激光诱导非晶硅薄膜的晶化(英文)[J];红外与毫米波学报;2011年03期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 马云飞;王自鑫;江绍基;佘卫龙;朱析;蔡志岗;李宝军;;光学镀膜近红外膜厚监控的信号压噪[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
2 范纪红;袁良;侯西旗;秦艳;;近红外CCD相机性能参数测试技术研究[A];2011西部光子学学术会议论文摘要集[C];2011年
3 黄延伟;张群;李桂峰;;掺钨二氧化锡透明导电氧化物薄膜的性能研究[A];中国真空学会2008年学术年会论文摘要集[C];2008年
4 梁海锋;周扬;严一心;;直流磁过滤电弧沉积氮化铝薄膜的研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制造技术专题)[C];2006年
5 曹丽冉;陈新亮;薛俊明;张德坤;孙建;赵颖;耿新华;;氧分压对低温制备In_2O_3:Sn薄膜性能的影响[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
6 张永梅;马礼;白文乐;;基于多传感器遥感图像融合的目标识别[A];2009年中国智能自动化会议论文集(第三分册)[C];2009年
7 邓书斌;陈秋锦;董彦卿;徐恩惠;;基于ENVI/IDL的环境小卫星影像处理方法研究[A];中国遥感应用协会2010年会暨区域遥感发展与产业高层论坛论文集[C];2010年
8 张霞;张兵;胡方超;童庆禧;;CHRIS高光谱数据大气自校正与仪器定标精度评价[A];第十五届全国遥感技术学术交流会论文摘要集[C];2005年
9 黎永志;黄光周;帅福利;于继荣;;光学薄膜厚度的实时监控算法研究[A];中国真空学会2006年学术年会论文集[C];2006年
10 朱超;张远芳;;Ag功能性混合溶胶薄膜的抗红外隔热性能[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(下册)[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 李志中 王永江 宋鸿儒 国土资源部航空物探遥感中心;遥感技术在城市规划及环保方面的应用[N];科技日报;2000年
2 杨福馨;包装工程机械人技术应用研究[N];中国包装报;2005年
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1 张静;1064nm窄带滤光片的设计和制备[D];长春理工大学;2009年
2 李珊;905nm窄带滤光片的设计与制备[D];长春理工大学;2010年
3 吴云飞;宽光谱监控薄膜生长系统的研制[D];复旦大学;2008年
4 邬松;地表遥感辐射特性的可视化分析方法研究及平台开发[D];电子科技大学;2008年
5 曹虎;真空下燃烧型抗红外烟幕干扰剂配方及性能实验研究[D];南京理工大学;2005年
6 华厚强;单CCD四波段光谱成像仪的定标与图像校正[D];电子科技大学;2009年
7 姚坤;基于MODIS的伊犁博州土壤湿度的反演[D];新疆大学;2009年
8 王培杰;富勒烯分子及薄膜的光谱学特性研究[D];首都师范大学;2000年
9 徐冬青;遥感技术应用于土壤盐渍化动态监测[D];新疆农业大学;2005年
10 张叶;真空蒸发制备Ⅱ-Ⅵ族硒化物薄膜及其性能研究[D];内蒙古大学;2004年
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