收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微机械光可调式光衰减器的制备及动态测试

茅惠兵  杨昌利  忻佩胜  彭德艳  朱自强  赖宗声  
【摘要】: 主要讨论了具有机械式抗反射开关(即MARS)结构的新型微机械可调式光衰减器。MARS结构可调式光衰减器由表面微机械工艺制备。当器件被正弦信号激励时,其响应信号也是正弦信号,但两者的相位相反。同时,微机械可调式光衰减器有一系列的固有频率。测量表明,器件反射率的上升时间为5μs,下降时间为3.3μs。如果器件由线性变化的锯齿信号驱动,当驱动信号小于23V时,器件的反射率变化也是线性的,当驱动信号大于23V时,器件的反射率响应出现非线性,信号越大,非线性越明显。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 李文军,赵小林,蔡炳初;一种新型的微机械可变式光衰减器[J];高技术通讯;2003年03期
2 赵小林,李文军,周光亚,张明生,蔡炳初;电磁驱动ME MS可调式光衰减器的研制[J];微细加工技术;2000年04期
3 谢毅,李云山,沈雅琴,管媛;建立在相干检测原理上的单模光纤步级衰减标准装置[J];计量学报;1998年04期
4 姚荣新;长、短波长步进式光衰减器[J];光通信技术;1985年04期
5 李以贵;微光机电系统技术在光通信中的应用[J];通讯世界;2003年09期
6 韩晓峰,吴亚明;一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器[J];功能材料与器件学报;2004年03期
7 杨震,李国栋,彭德艳,忻佩胜,赖宗声,朱自强;一种新型可调式微机械光衰减器[J];华东师范大学学报(自然科学版);2004年03期
8 吴仲;;光衰减器校准技术研究[J];科技信息;2011年11期
9 丁炜;CATV光网络设备原理及应用 第四讲 光无源器件的原理及应用[J];中国有线电视;2004年12期
10 丁炜;光无源器件的原理及应用[J];有线电视技术;2004年16期
11 肖经;何宁;易淼;汤善庆;;电控遮挡式光衰减器的设计与实现[J];光通信技术;2008年08期
12 张吉东;吴先国;于洪桉;闫东航;王植源;;基于钌复合物和多晶三氧化钨的电致变色近红外光衰减器[J];科学通报;2005年23期
13 郑继红;顾玲娟;张兴德;苏锦文;庄松林;;聚合物分散液晶材料可调光衰减器的设计与制作[J];仪器仪表学报;2006年08期
14 尹邦政;朱静;;多通道数字可调光衰减器模块的设计与实现[J];光机电信息;2011年08期
15 陈光辉;黄兰英;;在线连续可调单模光纤衰减器[J];光纤与电缆及其应用技术;1993年03期
16 邵国成;杨昊宇;戴旭涵;赵小林;丁桂甫;;一种微电磁驱动的MEMS可调光衰减器[J];电子器件;2007年03期
17 赵小林,李文军,周光亚,张明生,蔡炳初;电磁驱动ME MS可调式光衰减器的设计[J];微细加工技术;2000年04期
18 郑国梁,佘卫龙;温度不敏感电光调制器和保偏光衰减器设计[J];中国激光;2005年08期
19 程永来;光衰减器需求上升,价格下降[J];通讯世界;1997年12期
20 高钟毓,赵长德,张嵘,董景新;微机械加速度计的研究[J];清华大学学报(自然科学版);1998年11期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 鲍俊峰;曹钟慧;吴兴坤;;一种微加工型数字式可调光衰减器[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2 方瑜;;光衰减器不确定度评定[A];2008年江苏省计量测试学术论文集[C];2008年
3 郭美凤;高钟毓;张嵘;陈志勇;;微机械姿态测量单元及在船用卫星电视接收天线姿态稳定中的应用[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
4 吴晓平;胡强高;殷学会;孙莉平;;用于DWDM系统的新型动态通道增益均衡模块——DCE[A];全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议论文集[C];2005年
5 李兰;刘铮;邹德恕;沈光地;;新型室温工作微机械红外探测器[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
6 王海翔;孙萍;;微机械和微机器人研究的最新进展[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(上)[C];2001年
7 薛长国;黄渊;张青川;刘红;伍小平;;微机械阵列传感器设计与实现[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
8 李海军;杨拥军;徐永青;郑七龙;;一种新型光通信用微机械可变光衰减器[A];提高全民科学素质、建设创新型国家——2006中国科协年会论文集(下册)[C];2006年
9 张巧云;林日乐;谢佳维;张挺;翁邦英;王瑞;赵建华;郑永祥;吕志清;;石英微机械惯性传感器的研究[A];中国惯性技术学会第五届学术年会论文集[C];2003年
10 张为斌;方竞;;微机械陀螺仪的理论和设计基础[A];计算力学研究与进展——中国力学学会青年工作委员会第三届学术年会论文集[C];1999年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 林志浪;SOI集成光波导器件的基础研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
2 余文革;变形时域建模仿真理论及其在微机械天线中的应用[D];重庆大学;2004年
3 吕琼莹;微机械压电微电机原型机的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2001年
4 宗登刚;微机械材料力学性能测量[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
5 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
6 张流强;基于微机械的光调制热成像器件研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
7 纪新明;MEMS红外光声气体传感系统的研究[D];复旦大学;2005年
8 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
9 董林玺;微机械电容式传感器及其相关特性研究[D];浙江大学;2004年
10 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 韩晓峰;基于SOI材料的集成可调谐光衰减器的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
2 韩淋;液晶可变光衰减器透明导电电极材料的制作与器件工艺的研究[D];吉林大学;2005年
3 王明峰;聚合物分散液晶可变光衰减器的材料制备与器件实现[D];吉林大学;2007年
4 丛珊珊;PDLC可变光衰减器ITO透明电极制作及器件整体结构实现[D];吉林大学;2007年
5 董宏奎;石英微机械振动陀螺薄膜相关技术研究[D];电子科技大学;2009年
6 吴永红;聚合物VOA的设计和实验研究[D];东南大学;2006年
7 朱少丽;光无源器件工艺分析及结构改进研究[D];西南师范大学;2004年
8 杨艺榕;转动竖直微镜的硅微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
9 陶刚;动目标模拟系统[D];长春理工大学;2006年
10 黎海文;微摩擦测试仪中微力传感器的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 郭静蓉;从图像传感器切入 DMD漫长的开发之路[N];电子资讯时报;2007年
2 李源浩本报记者 孙春艳 王晓英;情系光电事业[N];吉林日报;2007年
3 何毅;光炬推出机械挡光 EVOA[N];中国邮政报;2000年
4 ;科技打造嘉慧未来[N];通信产业报;2003年
5 通讯员 蒋玲玲 记者 萧马;纳米技术是进入新世纪的钥匙[N];浙江日报;2000年
6 记者 诸玲珍;SOI:硅材料重大突破 产业化仍存短板[N];中国电子报;2007年
7 ;2004年度测试维护产品编辑推荐[N];通信产业报;2004年
8 ;ZnO薄膜的MOCVD生长技术[N];科技日报;2006年
9 阴慧娟;新型变形镜可揪出早期眼病[N];医药经济报;2007年
10 丽秋;上海新傲成功开发SOI[N];电子资讯时报;2002年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978