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《半导体光电》 2003年06期
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射频溅射法镀LD腔面光学薄膜的工艺研究

邹德恕  徐晨  鲁鹏程  杜金玉  崔碧峰  舒雄文  刘莹  沈光地  
【摘要】: 介绍了用普通多靶射频溅射台镀半导体激光器腔面光学膜的工艺方法,给出了实验的工艺条件、采用的光学膜的材料以及具体的工艺参数,讨论了此方法镀光学膜的结果以及优点。

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