收藏本站
《半导体光电》 1999年06期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

直接光CVD类金刚石碳膜的初期成膜结构

杜开瑛  石瑞英  谢茂浓  廖伟  张敏  
【摘要】:以微波激励氙(Xe) 发射的真空紫外光(VUV) 作光源,乙炔(C2H2) 作反应气体,采用直接光化学汽相淀积(CVD) 工艺,在硅(Si) 、钼( Mo) 及玻璃衬底上,120 ℃的低温下进行了类金刚石碳(DLC) 膜的试生长。用X 射线光电子能谱(XPS) 、扫描电子显微镜(SEM) 等手段进行了初期成膜结构的测试分析。测试结果表明,在所有三种衬底上均能淀积生成DLC 膜。其中C1s 态原子的含量在69 .98 % ~74 .60 % 之间,相应的键合能为285 .0 ~285 .6 eV。淀积膜是以SP2 键结构为主的DLC膜。实验结果也表明,氧在成膜过程中是影响最大的因素。

手机知网App
【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 李景;聚酯材料表面类金刚石薄膜制备及阻隔性能研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
2 刘喜亮;NiTi合金等离子体表面改性技术制备生物医用薄膜研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
3 汲大朋;电化学法沉积类金刚石膜的研究[D];大连理工大学;2007年
4 王智;类金刚石及掺硅类金刚石超薄膜的制备和摩擦学性能研究[D];河南大学;2008年
5 马国佳;应用于微机电系统上的类金刚石膜制备[D];大连理工大学;2003年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 谢茂浓,杜开瑛,文芳;真空紫外光直接光CVD SiO_2膜的偏压温度处理[J];半导体情报;1998年03期
2 郭述文,朱基千,谭淞生,王渭源;氢气放电无窗输出型光CVD非晶、微晶硅薄膜[J];半导体学报;1989年10期
3 张敏;程发良;姚海军;;类金刚石膜的性质和制备及应用[J];表面技术;2006年02期
4 常同钦;;类金刚石膜的物理特性及应用[J];表面技术;2006年05期
5 唐雄心,赵建生;搀杂氟对类金刚石薄膜的影响[J];材料导报;2002年04期
6 雍志华,林锡刚,刘玮,邓明;类金刚石膜的性能及应用研究[J];材料工程;1997年01期
7 罗广南,谢致薇,郑健红,袁镇海,邓其森,戴达煌;金刚石和类金刚石膜研究及其在电声领域中的应用[J];功能材料;1995年05期
8 唐雄心,赵建生;氟化类金刚石薄膜的沉积及性能研究现状[J];湖北汽车工业学院学报;2001年04期
9 江功武,于翔,王成彪;类金刚石碳膜的研究进展[J];金属热处理;2003年11期
10 谢致薇,袁镇海,郑健红,罗广南,戴达煌,邓其森;沉积类金刚石膜过程对钛箔基体性能和组织的影响[J];金属热处理;1996年11期
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 熊学辉;超硬纳米薄膜的显微结构特征及其对性能的影响[D];武汉理工大学;2003年
2 李伟涛;液动锤射流元件工作寿命试验研究[D];吉林大学;2004年
3 王岩;磁控溅射法制备类金刚石薄膜的结构与性质研究[D];南京理工大学;2006年
4 杜景永;液相电化学沉积超硬碳膜[D];大连理工大学;2006年
5 苟伟;含氢碳膜及Cr-DLC膜的结构和性能研究[D];大连理工大学;2006年
6 赵永亮;等离子体/离子复合注入不锈钢表面改性研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
7 齐海成;RF-PECVD法制备类金刚石薄膜的研究[D];长春理工大学;2007年
8 刘喜亮;NiTi合金等离子体表面改性技术制备生物医用薄膜研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
9 张德恒;氟化类金刚石薄膜的微观结构及性能研究[D];中南大学;2006年
10 谢松林;激光薄膜损伤特性研究[D];西安工业大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 蒋书文,尹光福,郑昌琼,张利,孟永刚,杨文言;钛合金表面类金刚石碳梯度薄膜的摩擦磨损性能研究[J];摩擦学学报;2001年03期
2 邢玉梅,俞跃辉,陈可炜,郑志宏,杨文伟;CH_4+Ar混合等离子体注入新工艺[J];压电与声光;2005年03期
3 刘志平;王加春;杨育林;;类金刚石膜的力学性能及其工具应用[J];工具技术;2005年12期
4 卫中山,左敦稳;类金刚石膜的制备及应用[J];航空精密制造技术;2004年01期
5 徐均琪,杭凌侠,惠迎雪;非平衡磁控溅射无氢DLC增透膜的研制[J];真空;2005年05期
6 傅永庆,徐可为,何家文;离子束增强沉积技术在制备优良抗蚀膜层方面的研究进展[J];表面技术;1997年01期
7 宋绪丁,李宁;超硬多层薄膜的研究现状及展望[J];表面技术;2005年03期
8 胡志彪;李贺军;付前刚;陈强;王兰英;;低摩擦系数固体润滑涂层研究进展[J];材料工程;2006年03期
9 李振军,徐洮,李红轩,郝俊英,周惠娣,陈建敏;类金刚石薄膜的摩擦学特性及磨损机制研究进展[J];材料科学与工程学报;2004年05期
10 李铁军,刘晶儒,王丽戈,楼祺洪;利用脉冲激基分子激光制备大尺寸类金刚石薄膜及其均匀性分析[J];光子学报;1999年12期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 周美丽;胡立琼;张跃飞;陈强;葛袁静;;掺氮对类金刚石薄膜的力学性能的影响[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 徐军;微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术及CN薄膜的制备研究[D];大连理工大学;2002年
2 沈风雷;钛合金表面液相法沉积DLC膜及其血液相容性[D];南京工业大学;2003年
3 蒋书文;钛合金基类金刚石梯度薄膜材料制备及其生物摩擦学性能和血液相容性的研究[D];四川大学;2002年
4 蔺增;利用射频PECVD方法生长类金刚石薄膜的实验研究[D];东北大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王淑芳;脉冲激光沉积氮化碳薄膜及其生长机理研究[D];河北大学;2000年
2 陈俊英;CH4/H2系统电子助进热丝化学气相沉积动力学过程研究[D];河北大学;2000年
3 江河清;液相电沉积类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜[D];河南大学;2004年
4 李敬财;真空阴极电弧及等离子体化学气相法沉积类金刚石碳膜的研究[D];广东工业大学;2004年
5 孙心瑗;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];湖南大学;2004年
6 吴志猛;类金刚石膜的制备与特性研究[D];辽宁工程技术大学;2002年
7 马国佳;应用于微机电系统上的类金刚石膜制备[D];大连理工大学;2003年
8 张茹芝;氟化类金刚石膜的制备、结构和性能的研究[D];大连理工大学;2004年
9 徐世友;化学气相沉积法制备宽带硬质薄膜材料[D];浙江大学;2005年
10 王立达;不锈钢表面掺硅类金刚石膜的制备、结构及性能[D];大连理工大学;2005年
【二级引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 刘成龙;医用金属材料表面惰性涂层改性研究[D];大连理工大学;2006年
2 蔺增;利用射频PECVD方法生长类金刚石薄膜的实验研究[D];东北大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 杜景永;液相电化学沉积超硬碳膜[D];大连理工大学;2006年
2 刘喜亮;NiTi合金等离子体表面改性技术制备生物医用薄膜研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
3 何洋洋;液相电化学沉积无定形金刚石薄膜[D];大连理工大学;2008年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 袁镇海,邓其森,罗广南,谢致薇,郑健红;类金刚石膜的制备、性能和应用[J];材料科学与工程;1994年04期
2 陈灵,刘正义,邱万奇,黄元盛,刘铁林,欧阳光胜;射频辉光放电等离子体化学气相沉积类金刚石膜的性能研究[J];真空科学与技术学报;2002年05期
3 李福升,赵强,洪伟;类金刚石膜制备技术及在红外元件上的应用[J];量子电子学报;1996年05期
4 宋登元;;光诱导化学汽相淀积非晶硅薄膜及其在太阳电池中的应用[J];半导体光电;1990年01期
5 林锡刚,熊兆奎,徐培光,汪德志,郑思孝;低能离子束形成类金刚石膜[J];微细加工技术;1986年01期
6 孙建诚,王玉清;紫外光能量辅助CVD的反应机制[J];微电子学;1997年06期
7 谢致薇,郑健红,袁镇海,邓其森,罗广南,戴达煌,付志强;真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜在扬声器振膜上应用的研究[J];广东有色金属学报;1998年01期
8 刘洪宁,孙建诚;新型UV—CVD工艺系统的研制[J];电子工业专用设备;1999年02期
9 张贵锋,耿东生,郑修麟;金刚石薄膜的红外光学性能[J];激光与红外;1997年01期
10 张旭;王耀辉;吴先映;李强;张荟星;张孝吉;;采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究[J];核技术;2007年12期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 杨雪;程勇;郭延龙;王会升;王淑云;朱孟真;米朝伟;;脉冲激光沉积大面积均匀类金刚石膜新技术研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 李新;DLC膜制备、微摩擦性能及其在MEMS中防粘附应用研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 齐海成;RF-PECVD法制备类金刚石薄膜的研究[D];长春理工大学;2007年
2 张妍;脉冲离子束在材料表面改性中的应用[D];长春理工大学;2007年
3 陈达;PLD制备类金刚石薄膜及其发光特性研究[D];曲阜师范大学;2006年
4 赵茜;用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究[D];电子科技大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026