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光学薄膜膜厚监控中极值法的应用

杨亚生  
【摘要】:极值法是目前国内外真空镀膜膜厚监控中应用最广泛的方法。本文阐述了此法的膜厚监控原理、系统、方法。重点讨论了为提高监控精度而采取的一些改进措施。

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