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《安阳师范学院学报》 2003年05期
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溶胶-凝胶多层高反射膜光学特性研究

袁英  杨帆  孙骐  
【摘要】:利用EssentialMacleod膜系设计程序,对溶胶-凝胶法制备的多层光学高反膜的光学特性进行了理论上的研究。通过膜系设计程序计算得到光学特性曲线,分析了多层膜层数、膜层奇偶性和基底对薄膜光学性能的影响,得到性能最优的理论膜系结构。并设计了带有抗激光损伤匹配层的多层光学高反膜,研究了匹配层对高反膜光学特性的影响。以上研究结果将对溶胶-凝胶多层高反射膜的镀制起到重要的指导作用。

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【参考文献】
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