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《安徽职业技术学院学报》 2009年02期
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全自动硅片传送装置设计

金红杰  钟善理  邓志涛  
【摘要】:半导体生产过程中,用吸笔从花篮取放硅片到显微镜下检测,存在着容易划伤硅片和取放效率低下两大问题。因此用机械手替代人工取放硅片的解决方案十分必要。文章介绍的全自动硅片传送装置用于手动显微镜的传片自动化。该装置利用51单片机为核心,控制步进电机带动机械手取放硅片。该装置用低廉的成本,实现了高效、便捷、实用性强等性能,具备很大的推广意义。

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