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《安徽大学学报(自然科学版)》 2009年03期
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射频溅射Si膜的微结构与光学性质研究

宋学萍  王佩红  孙兆奇  
【摘要】:采用射频磁控溅射法,在300℃衬底温度下制备了不同厚度的Si薄膜,用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的微结构、光学性质及表面形貌进行了测试分析.结果表明:不同时间下制备的Si膜均呈多晶状态;在中红外波段内出现了很强的Si-Si吸收峰;在紫外可见光范围,随着膜厚的增加,Si膜的透过率减弱;AFM测出Si膜的颗粒平均直径在5.65~8.41 nm之间.

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 宋学萍;黄飞;吕建国;孙兆奇;;射频磁控溅射制备SiO_2薄膜及性能表征[J];安徽大学学报(自然科学版);2010年06期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 孙洪福,汤华娟,王承遇,陶瑛,邓新绿;用微波ECR等离子体增强磁控溅射沉积法在玻璃上镀膜[J];玻璃与搪瓷;2004年02期
2 饶瑞,徐重阳;多晶硅薄膜材料与器件研究进展[J];材料导报;2000年07期
3 马春;世界半导体硅材料发展现状[J];上海有色金属;2005年03期
4 彭英才,何宇亮,刘明;PECVD生长nc-Si∶H膜的沉积机理分析[J];真空科学与技术;1998年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘国龙;关巍;高远;;TCO玻璃的应用及制备方法[J];安阳工学院学报;2010年02期
2 张乾;高杨;张建新;阎殿然;安雪川;张志彬;王师;;喇曼光谱研究硅烷体积分数对Si薄膜结构影响[J];半导体技术;2009年02期
3 温梁,汪家友,杨银堂;超大规模集成电路中低介电常数薄膜的制备与检测技术[J];微纳电子技术;2004年03期
4 陈光华,蔡让岐,宋雪梅,贺德衍;多孔硅衬底微波CVD金刚石薄膜的制备及其场电子发射[J];半导体学报;2004年03期
5 王立祥;王兆祥;;浅析电致变色玻璃中的电致变色材料[J];玻璃;2011年04期
6 常同钦;;类金刚石膜的物理特性及应用[J];表面技术;2006年05期
7 杨克涛,陈光辉;AlN薄膜的研究进展[J];山东陶瓷;2005年01期
8 杨虹;李正华;王杰敏;;Terfenol-D/PMNT/Terfenol-D层状磁电复合材料的磁电效应分析[J];重庆邮电大学学报(自然科学版);2011年02期
9 刘晓为;索春光;张宇峰;张博;胡泽先;;多孔硅基微型直接甲醇燃料电池用催化电极的制备[J];传感技术学报;2006年05期
10 陈卓;刘喜明;王佳玲;;激光致晶化非晶态SnSeSbTm薄膜材料的研究[J];材料导报;2005年01期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 刘平;赵学全;关丽;梁禄生;陈土华;童真;邓文基;;新型有机电致变色材料的制备及其性能[A];低碳技术与材料产业发展研讨会论文集[C];2010年
2 廖道达;陆德强;刘文燕;邱君苑;;金刚石锦上添花[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
3 王洁冰;许旻;邱家稳;;钙钛矿型锰氧化物在热控薄膜材料方面的应用[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
4 郭菁;邢鹏飞;韩志彪;涂赣峰;;真空下用镁-锌合金熔融提纯工业硅粉的研究[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 谭红琳;金属离子掺杂的ZnO第一性原理计算及透明导电薄膜制备研究[D];昆明理工大学;2009年
2 于站良;超冶金级硅的制备研究[D];昆明理工大学;2010年
3 闫小兵;过渡金属氧化物阻变存储器的制备及其开关机制研究[D];南京大学;2011年
4 秦艳丽;硅基薄膜的制备及其在锂离子电池中的应用[D];兰州大学;2011年
5 罗益民;离子注入硅退火及退火过程热力学研究[D];中南大学;2010年
6 杨田林;Zn_3N_2薄膜及AZO/Cu/AZO多层薄膜的制备与特性研究[D];天津大学;2010年
7 邱明波;半导体晶体材料放电加工技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
8 苏元军;ICP辅助磁控溅射制备多晶硅薄膜[D];大连理工大学;2011年
9 郭立强;纳米硅薄膜太阳电池优化研究[D];江苏大学;2012年
10 王学华;TiO_2薄膜的结构、特性及生长模式的研究[D];武汉理工大学;2003年
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1 王涛;镍/铁沉积薄膜微观结构及其特性的分子动力学研究[D];湘潭大学;2010年
2 王淑珍;HIT太阳电池硅片处理及复合透明导电膜的研究[D];江南大学;2010年
3 邓其明;PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究[D];电子科技大学;2010年
4 吕东;碳热还原歧化法制备高品质硅的实验研究[D];昆明理工大学;2009年
5 杨德顺;基于多层复合薄膜热电偶的瞬态切削温度测试技术的研究[D];大连交通大学;2010年
6 欧新秀;低位错密度的GaN外延薄膜生长研究[D];西安电子科技大学;2011年
7 马玉英;脉冲激光沉积(PLD)制备β-FeSi_2薄膜及性能研究[D];山东师范大学;2011年
8 吴永辉;激光MBE生长BN和AlN薄膜材料及光电性质研究[D];河南大学;2011年
9 邢希;复合掺杂锰酸镧陶瓷及其性能研究[D];北京交通大学;2011年
10 张海峰;过渡金属掺杂TiO_2制备工艺、结构及磁特性研究[D];兰州理工大学;2011年
【同被引文献】
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1 郭亨群;林赏心;王启明;;纳米Si镶嵌SiO_2薄膜的发光与非线性光学特性的应用[J];半导体学报;2006年02期
2 贾晓林,张海军,谭伟;氧化锌薄膜研究的新进展[J];材料导报;2003年S1期
3 孙继红,章斌,徐耀,范文浩,吴东,孙予罕;SiO_2光学增透膜的制备及光学性能[J];光学技术;2000年02期
4 黄远明;翟保改;周甫方;;SiO_2薄膜中咔唑的发光特性[J];光子学报;2007年04期
5 秦国刚;纳米硅/氧化硅体系光致发光机制[J];红外与毫米波学报;2005年03期
6 王慧;刘静;余刚;;溅射SiO_2薄膜的红外特性研究[J];中国建材科技;2007年05期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 徐军,邓新绿,张家良,陆文棋,马腾才;双放电腔微波-ECR等离子体源增强磁控溅射沉积技术[J];大连理工大学学报;2001年03期
2 何宇亮,余明斌,吕燕伍,戎霭伦,刘剑,徐士杰,罗克俭,奚中和;纳米硅薄膜中的量子点特征[J];自然科学进展;1996年06期
【相似文献】
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1 黄凯;吕建国;刘先松;唐震;;溶胶-凝胶法制备Mg掺杂ZnO薄膜的微结构与光学性质[J];人工晶体学报;2010年05期
2 裴亚芳;杨传仁;陈宏伟;张继华;冷文健;;Pb_xSr_(1-x)TiO_3陶瓷及薄膜的制备和性能研究[J];压电与声光;2007年06期
3 吕建国;伍红松;陈磊;宋学萍;孙兆奇;;Ag-MgO复合团簇薄膜微结构及其光学特性[J];硅酸盐通报;2008年04期
4 徐林华;李相银;袁俊;;Fe掺杂对ZnO薄膜的微结构与光学性质的影响[J];郑州大学学报(工学版);2008年04期
5 黄飞;孙仲亮;孟凡明;孙兆奇;;射频磁控溅射ZnO薄膜的微结构与光学特性[J];真空电子技术;2008年02期
6 张增院;郜小勇;冯红亮;马姣民;卢景霄;;真空热退火温度对单相Ag_2O薄膜微结构和光学性质的影响[J];物理学报;2011年03期
7 黄宝歆;;用射频磁控溅射法制备金属/半导体颗粒膜[J];大学物理;2007年09期
8 戴结林;;In掺杂量对ZnO薄膜微结构和光学性质的影响[J];人工晶体学报;2010年02期
9 张锡健;王国强;王卿璞;龚小燕;吴小惠;马洪磊;;退火对ZnO薄膜光学特性的影响[J];发光学报;2008年03期
10 袁宏韬;冯克成;张先徽;;PcNi-VO_2复合膜相变光谱特性研究[J];光谱学与光谱分析;2007年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 孙喜莲;徐学科;邵建达;;铬过渡层对银膜的微结构、光学性质及附着力的影响[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
2 龚伟;王波;祁宁;麦亦勇;刘黎明;;超支化聚合物微结构的正电子研究[A];第九届全国正电子谱学会议论文集[C];2005年
3 陈嘉鸥;卢承祖;郭素杰;叶斌;;软土微结构SEM样品的制备技术[A];新世纪岩石力学与工程的开拓和发展——中国岩石力学与工程学会第六次学术大会论文集[C];2000年
4 李枚;商顺昌;;微结构加速度开关动态特性参数研究[A];中国惯性技术学会光电技术专业委员会第四次学术交流会暨重庆惯性技术学会第八次学术交流会论文集[C];2000年
5 姚应红;孔向阳;戴嘉维;李戈扬;;Ti-Si-N纳米薄膜的微结构及力学性能研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
6 周呈文;王常勇;Descamps Michel;卢建熙;;磷酸钙多孔生物陶瓷作为组织工程支架的应用研究[A];第九届全国生物材料学术会议(CBMS-9)论文集[C];2002年
7 李冬梅;陈菁菁;潘峰;;镍过镀层对高频声表面波器件微结构与性能的影响[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
8 李金华;王晓华;张吉英;赵东旭;吕有明;申德振;范希武;;Mn对ZnO纳米球光学性质的影响[A];第11届全国发光学学术会议论文摘要集[C];2007年
9 周严;王博文;李淑英;黄文美;曹淑英;;Fe_(100-x)(Ga_(0.75)Al_(0.25))_x(21.2≤x≤26.8)合金的结构与磁性[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(3)[C];2007年
10 张洁;张志焜;;溶液法制备形貌可控的硫化铜纳米结构[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(6)[C];2007年
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1 罗静;研讨微结构科技 庆祝冯端八十华诞[N];人民日报海外版;2003年
2 ;微结构陶瓷[N];中华建筑报;2000年
3 申生;国内首条膜分散微结构反应器制备纳米碳酸钙技术投产[N];医药经济报;2006年
4 宋莹 姚大鋆 陈晓春;南京微结构国家实验室建设正式启动[N];新华日报;2005年
5 记者:游雪晴 实习生:姜靖;超分子:探索在化学学科前沿阵地[N];科技日报;2006年
6 耿联;政协会上的“师生”委员[N];新华日报;2008年
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2 贾璐;非晶GaN薄膜的制备及性能和碳纳米管的LB排布[D];兰州大学;2009年
3 李金华;Mn掺杂ZnO纳米晶的光学和磁学性质研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
4 杨志林;金属纳米粒子的光学性质及过渡金属表面增强拉曼散射的电磁场机理研究[D];厦门大学;2006年
5 齐济;钒氧化物及其复合玻璃的制备与性质研究[D];大连理工大学;2008年
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7 范协诚;MRAlO_4(M=Sr,Ca;R=La,Nd,Sm,Y)微波介质陶瓷的基础问题及其改性[D];浙江大学;2008年
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9 闫珂柱;玻色—爱因斯坦凝聚体形成的动力学和光学性质研究[D];上海大学;2000年
10 吕毅军;三元Ga_xIn_(1-x)P和四元(Al_xGa_(1-x))_(0.51)In_(0.49)合金光学性质的研究[D];厦门大学;2000年
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1 丁旭丽;类金刚石薄膜的制备及光学性质研究[D];曲阜师范大学;2009年
2 侯方;亳阜高速公路路基填土工程性质的研究[D];合肥工业大学;2006年
3 徐春旭;W型铁氧体的制备及磁性研究[D];哈尔滨工程大学;2004年
4 李世扬;数字全息术在微结构测量中的应用研究[D];西北工业大学;2005年
5 王浡;物理压印法构建聚合物微结构[D];浙江大学;2006年
6 高玉英;导电聚合物微容器的制备与应用研究[D];清华大学;2006年
7 关会英;典型蝴蝶鳞片结构色形成机理及其微观结构研究[D];吉林大学;2007年
8 徐瑞;沥青混合料快速三维数值建模技术[D];华中科技大学;2008年
9 丁爱民;含氮、硫配体及其配合物的合成、表征及性质的实验与理论研究[D];安徽大学;2005年
10 孙涛;功能性多核咔唑羧酸配合物的合成及光电性质研究[D];安徽大学;2007年
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