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《安徽大学学报(自然科学版)》 2005年03期
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退火温度对溅射Al膜微结构及光学常数的影响

宋学萍  王佩红  孙兆奇  
【摘要】:用直流溅射镀膜工艺在室温Si基片上制备了250nm厚的Al膜,并用X射线衍射及反射式椭偏光谱技术,对薄膜的微结构和光学常数在不同退火温度下的变化进行了测试分析。结构分析表明:退火后的Al膜均呈多晶状态,晶体结构仍为面心立方;随着退火温度由室温20℃左右升高到400℃,薄膜的平均晶粒尺寸由22.8nm增加到25.1nm;平均晶格常数(4.047)略比标准值4.04960小。椭偏光谱测量结果表明:2600~8300光频范围内,退火温度对折射率n影响较小,对吸收系数k的影响较为明显。

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【引证文献】
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1 杨栋华;欧信兵;张津;;超细晶/纳米晶铝膜的研究现状[J];材料导报;2007年10期
2 程丙勋;吴卫东;何智兵;许华;唐永建;卢铁城;;退火温度对溅射铝膜结构与电性能的影响[J];强激光与粒子束;2008年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 杨栋华;超细晶/纳米晶纯Al厚膜的制备及性能研究[D];重庆工学院;2008年
2 韩安军;NIP型硅薄膜电池Al/ZnO复合背反射电极的研究[D];河北工业大学;2010年
3 孟亚丽;15CrMnMoVA钢磁控溅射镀铝耐腐蚀性研究[D];广东工业大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 孙兆奇,蔡琪,何玉平,宋学萍;Cu块材及Cu膜的光学常数研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2004年02期
2 何玉平,吴桂芳,李爱侠,孙兆奇;不同厚度溅射Ag膜的微结构及光学常数研究[J];光学学报;2002年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孙兆奇,蔡琪,何玉平,宋学萍;Cu块材及Cu膜的光学常数研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2004年02期
2 吴桂芳,宋学平,刘勇,林伟,孙兆奇;衬底温度对溅射硅基铜膜(Cu/Si)应力的影响研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2004年03期
3 梁平;曹铃;宋学萍;程晓敏;孙兆奇;;Ag-聚酯复合薄膜的微结构与光学性能研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2009年02期
4 林炜;马瑞新;;高温超导YBCO薄膜及其制备[J];微纳电子技术;2006年08期
5 吴春;刘祥萱;蒋大勇;梁剑涛;吴友朋;;金属铜薄膜的制备与红外发射率特性研究[J];表面技术;2010年02期
6 吴萍,林旋英,姚若河,余楚迎;功能薄膜材料多晶硅的制备及光电特性研究[J];材料导报;1999年06期
7 李青山,张金朝,宋鹂;三防纳米级ATO透明导电薄膜材料的研究和应用[J];材料导报;2002年02期
8 王悦辉,庄志强;择优取向铁电薄膜制备影响因素的分析[J];材料导报;2003年04期
9 何秋星;涂伟萍;胡剑青;;光谱选择性纳米涂料的研究进展[J];材料导报;2005年12期
10 徐慢;夏冬林;赵修建;;透明导电氧化物薄膜材料及其制备技术研究进展[J];材料导报;2006年S2期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 蔡珣;;可调的透明导电膜研究进展[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
2 孙福来;谭红琳;;溶胶-凝胶法制备ZnO:Al导电薄膜的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
3 何平;;纳米电子膜热加工可拓控制技术[A];第二十四届中国控制会议论文集(下册)[C];2005年
4 张龙;朱健;吴璟;卓敏;陈辰;;磁控溅射制备低应力金属膜的工艺研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(二)[C];2005年
5 张羿;楼均辉;肖田;刘红君;周团团;;无机电致发光平板显示器的老化工艺[A];第六届华东三省一市真空学术交流会论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 蒋亚东;电子聚合物气、湿敏特性及机理研究[D];电子科技大学;2001年
2 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
3 李晓云;金属膜电阻器稳定性的研究[D];天津大学;2003年
4 王巍;掺(?)钇铁石榴石磁光薄膜的性能及应用研究[D];电子科技大学;2003年
5 白永林;超高密度光盘存储关键技术的研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2003年
6 严群;稀土氧化物及纳米氧化锌掺杂压敏材料的制备及机理研究[D];四川大学;2003年
7 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
8 谢欣云;非单一SiO_2埋层的SOI新结构研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
9 龚恒翔;多晶氧化锌薄膜的制备和结构、电学、光学特性研究[D];兰州大学;2002年
10 杨雪娜;掺镧(钐)Bi_2Ti_2O_7薄膜的制备及其性能研究[D];山东大学;2005年
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1 邓其明;PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究[D];电子科技大学;2010年
2 李刚;Ag/SiO_2复合纳米薄膜的光学性质[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 彭金强;磁控溅射法制备优质氮化镓衬底生长用缓冲层氧化锌薄膜[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 张文杰;射频磁控溅射大尺寸ZnO:Al薄膜生长工艺及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 崔贲涛;立方氮化硼薄膜的汽相成核与生长研究[D];北京工业大学;2000年
6 魏欢;SiGe异质结双极晶体管及其集成电路的研究[D];北京工业大学;2000年
7 苏红兵;多元电化学沉积GaAs薄膜研究[D];云南师范大学;2000年
8 黄创军;以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜[D];汕头大学;2001年
9 张博;Ni-Co-P/WC(nm)复合镀层研究及硅的表面金属化[D];广东工业大学;2001年
10 贺月娇;表面修饰N型多孔硅的光致荧光特性[D];山东师范大学;2001年
【同被引文献】
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1 陈新亮;徐步衡;薛俊明;赵颖;张晓丹;耿新华;;MOCVD制备的ZnO薄膜及其在太阳电池背电极应用[J];半导体学报;2005年12期
2 陈新亮;薛俊明;孙建;赵颖;耿新华;;绒面ZnO薄膜的生长及其在太阳电池前电极的应用[J];半导体学报;2007年07期
3 米彦郁,胡奈赛,何家文,陈华;对几种薄膜硬度测试方法的评定[J];中国表面工程;2002年03期
4 刘衡平;徐均琪;严一心;;靶电流对非平衡磁控溅射制备无氢碳膜结构与性能的影响[J];表面技术;2009年01期
5 张友宏;真空镀Al/PVC膜残余应力的研究[J];包装工程;2005年05期
6 杨栋华;;直流磁控溅射制备铝薄膜工艺参数[J];重庆工学院学报;2006年08期
7 张津,孙智富,叶宏;镁合金表面喷铝防腐蚀层的微观组织分析[J];材料保护;2003年06期
8 夏扬;王吉会;王茂范;;铝合金电镀的研究进展[J];材料导报;2005年12期
9 陈彬;林栋樑;曾小勤;卢晨;;深度塑性变形法的研究现状和前景[J];材料导报;2006年09期
10 叶志镇;;磁控溅射技术及其在材料科学中的应用[J];材料科学与工程;1989年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 侯占忠;喷丸工艺的数值分析[D];华中科技大学;2006年
2 孟红梅;蒸镀、磁控溅射铝和铝合金薄膜的组织与性能[D];天津大学;2007年
3 宫承鹏;铝基铈转化膜制备与耐蚀性能研究[D];中国海洋大学;2011年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 林大伟;郭春;张云洞;李斌成;;真空紫外波段铝反射膜制备[J];光学学报;2012年02期
2 韩安军;张建军;李林娜;张洪;刘彩池;耿新华;赵颖;;衬底温度对太阳电池铝背反射电极性能的影响[J];太阳能学报;2011年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 韩安军;NIP型硅薄膜电池Al/ZnO复合背反射电极的研究[D];河北工业大学;2010年
2 汪志钢;高温厚铝溅射时柱状突起缺陷的控制与优化[D];上海交通大学;2009年
3 吴良文;AZ91D镁合金表面磁控溅射Al、Ti-Al-N、Al/Ti-Al-N膜及其组织与性能研究[D];江苏科技大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 何玉平,吴桂芳,李爱侠,孙兆奇;不同厚度溅射Ag膜的微结构及光学常数研究[J];光学学报;2002年06期
2 李丽君,吴锦雷;金属微粒-介质复合薄膜(Au-BaO,Cu-BaO)的光吸收[J];物理学报;1998年05期
3 孙兆奇,孙大明,王光亚,谢平,徐志元,李爱侠;Cu-MgF_2金属陶瓷薄膜的微结构与光学特性[J];真空与低温;1999年03期
【相似文献】
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1 郭春;林大伟;张云洞;李斌成;;光度法确定LaF_3薄膜光学常数[J];光学学报;2011年07期
2 沈思情;许志斌;马清;谢建军;施鹰;袁晖;熊巍;;Ce∶LSO多晶薄膜的溶胶-凝胶法制备及其发光性能[J];发光学报;2011年09期
3 段兴凯;江跃珍;宗崇文;侯文龙;;退火温度对Bi_2Te_(2.7)Se_(0.3)薄膜的微结构及热电性能的影响[J];材料科学与工程学报;2011年04期
4 郭英杰;刘中华;苏瑞;陈家胜;何捷;;VO_2(A)型薄膜表面形貌与相变性能的相关性[J];稀有金属材料与工程;2011年06期
5 徐礼;秦晓梅;;铝膜沉积温度对非晶硅薄膜晶化的影响[J];上海师范大学学报(自然科学版);2011年03期
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7 余琨;宋觉敏;陈福文;谭欣;胡亚男;李少君;;退火对层状复合Ni-Al双金属带界面化合物和性能的影响[J];中南大学学报(自然科学版);2011年08期
8 刘涛;陈倩;赵小如;;退火温度对TiO_2及Nb掺杂TiO_2薄膜的影响[J];西华大学学报(自然科学版);2011年04期
9 彭盛华;张欣;何建军;;氩等离子体诱导量子阱混合技术[J];浙江大学学报(工学版);2011年06期
10 张亚萍;张建军;李文杰;耿新华;赵颖;;退火对活性层P3HT:PCBM性能的影响[J];太阳能学报;2011年02期
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1 孙萍;杨润秋;谢风华;丁嘉琪;张付强;;用CCD测量漫反射率确定组织光学常数的方法研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
2 高尚;连洁;宋平;李萍;马铮;王晓;吴仕梁;;分子束外延生长超薄铝膜光学常数的研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
3 李国栋;崔勇;;连续退火温度对IF钢的影响[A];2009年全国冷轧板带生产技术交流会论文集[C];2009年
4 阳浩;陈德茂;刘奇;辛雪军;吴承汕;;退火温度对微细钨铼合金丝机械性能的影响[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
5 阳浩;陈德茂;刘奇;辛雪军;吴承汕;;退火温度对微细钨铼合金丝机械性能的影响[A];2009(重庆)中西部第二届有色金属工业发展论坛论文集[C];2009年
6 张红杰;金自力;王玉峰;郑丽娟;张志凯;;退火工艺对Fe-0.3%Si电工钢微观组织的影响[A];第二届全国背散射电子衍射(EBSD)技术及其应用学术会议暨第六届全国材料科学与图像科技学术会议论文集[C];2007年
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9 刘永刚;詹华;;连退工艺对低硅型冷轧低合金高强钢板力学性能的影响[A];2009年促进中部崛起专家论坛暨第五届湖北科技论坛——装备制造产业发展论坛论文集(下)[C];2009年
10 曹鹏涛;张青川;符师桦;胡琦;;应变率和退火温度对Al-Mg合金LF5拉伸力学性能的影响[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
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1 ;二冷轧一项技术改赢得三个效益[N];本溪日报;2008年
2 本报记者 格日勒图;包钢:创新亮出自己的名片[N];内蒙古日报(汉);2006年
3 ;微合金化元素在硅钢片中的作用[N];世界金属导报;2005年
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5 吴晓川;位点特异性PCR鉴别[N];中国医药报;2002年
6 薛文东 陈松林 党宏有;在积极开发中获取优异性能[N];中国冶金报;2008年
7 张祎 李敏;简述硒硫化镉玻璃的生产工艺[N];山西科技报;2005年
8 李晓非;冷轧微合金化钢的再结晶和力学性能[N];世界金属导报;2002年
9 辛建卿;铌在铁素体不锈钢和马氏体不锈钢中的应用[N];世界金属导报;2003年
10 ;带钢热处理工艺及比较[N];世界金属导报;2004年
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1 刘毛;铪基高介电常数栅介质薄膜的制备及其物性研究[D];中国科学院研究生院(合肥物质科学研究院);2007年
2 陈红;氢化纳米硅薄膜的光学常数和室温可见发光研究[D];上海交通大学;2007年
3 顾江华;金属薄膜厚度和光学常数测量及对称金属包覆波导振荡场传感器的研究[D];上海交通大学;2008年
4 钟声;ZnO薄膜的生长特性及掺杂研究[D];中国科学技术大学;2008年
5 钟志亲;6H-SiC的辐照效应研究[D];四川大学;2007年
6 王文静;掺杂及磁场感应各向异性对Fe基薄膜巨磁阻抗效应的影响[D];山东大学;2007年
7 李江;新结构高性能有机电致白光器件的研究[D];吉林大学;2007年
8 方红霞;PDMS-MDI-PEG多嵌段共聚物涂层微相分离行为及其性能的研究[D];复旦大学;2007年
9 申孝民;有限元与蒙特卡罗方法耦合的退火过程模拟模型及关键技术研究[D];山东大学;2008年
10 殷桂琴;旋转涂敷法(SOD)制备硅基多孔低k薄膜材料的研究[D];苏州大学;2008年
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1 赵国艳;气溶胶颗粒材料光学常数的反演方法研究[D];南京航空航天大学;2009年
2 程丙勋;磁控溅射制备Al膜和Cu膜的结构与性能研究[D];四川大学;2007年
3 徐新龙;从THz时间波形中提取材料参数的方法和分析[D];首都师范大学;2003年
4 王海峰;Al/Zr-V/Mo和Al/Zr-V-D/Mo多层膜的制备及贮氢性能研究[D];中国工程物理研究院;2004年
5 李向阳;金属/介质膜系光电特性的研究[D];西安工业大学;2012年
6 陈恭敬;光学薄膜常数计算方法与测量系统的研究[D];电子科技大学;2005年
7 廖振兴;激光薄膜光学常数和膜厚均匀性的研究[D];华中科技大学;2005年
8 林斯勤;铀与氧气反应的初始氧化动力学的椭偏技术研究[D];中国工程物理研究院;2007年
9 查家明;宽波段分色膜研制[D];南京理工大学;2007年
10 陈斐;钒酸铋薄膜的合成和性质研究[D];华东师范大学;2011年
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