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《安徽大学学报(自然科学版)》 2004年03期
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衬底温度对溅射硅基铜膜(Cu/Si)应力的影响研究

吴桂芳  宋学平  刘勇  林伟  孙兆奇  
【摘要】:薄膜应力的存在是薄膜制备过程中需要认真考虑的普遍问题。本文对溅射硅基铜膜应力受衬底温度的影响进行了讨论。实验中衬底温度分别设定为室温,50℃,100℃,150℃,200℃,250℃。实验表明:衬底温度在50~200℃之间时,铜膜平均应力变化较小,为-3.920×108Pa,应力差变化也较小。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李爱侠,费振乐,王翠平,宋学萍;薄膜厚度对蒸发制备Cu膜内应力的影响[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2004年12期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 李伟东;微压力传感器的设计与制作工艺研究[D];国防科学技术大学;2005年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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9 李朝升;王先平;方前锋;S.Veprek;李世直;;反应磁控溅射法制备nc-TiN/a-Si_3N_4薄膜的 Young's 模量和内耗[A];第七届全国内耗学术会议论文集[C];2003年
10 张龙;朱健;吴璟;卓敏;陈辰;;磁控溅射制备低应力金属膜的工艺研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(二)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 蒋亚东;电子聚合物气、湿敏特性及机理研究[D];电子科技大学;2001年
2 徐军;微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术及CN薄膜的制备研究[D];大连理工大学;2002年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周慎平;用不同配比度的预烧粉末和陶瓷靶在Ag、Au、Pt底电极上溅射制取PZT铁电薄膜的研究[D];暨南大学;2000年
2 刘振民;GCr15表面离子注入及脉冲电子束后处理复合改性研究[D];大连理工大学;2000年
3 崔贲涛;立方氮化硼薄膜的汽相成核与生长研究[D];北京工业大学;2000年
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6 刘洪;插Si层的Pt/Co多层膜的结构、磁性和磁光特性的研究[D];首都师范大学;2001年
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8 张博;Ni-Co-P/WC(nm)复合镀层研究及硅的表面金属化[D];广东工业大学;2001年
9 叶超;α-C:F薄膜的沉积、结构与介电性质研究[D];苏州大学;2001年
10 张军琴;MCM多层布线基板的可靠性研究[D];西安电子科技大学;2001年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李建军,邹正光,龙飞;CIS(CIGS)太阳能电池研究进展[J];能源技术;2005年04期
2 王应民;张萌;徐鹏;刘洋文;李禾;徐飞;;化学浴沉积法制备ZnS薄膜[J];南昌大学学报(理科版);2006年03期
3 王兴孔;CuInSe_2薄膜太阳电池[J];青岛大学学报(自然科学版);2000年03期
4 孙云,王俊清,杜兆峰,舒保健,于刚,温国忠,周祯华,孙健,李长健,张丽珠;CIS和CIGS薄膜太阳电池的研究[J];太阳能学报;2001年02期
5 蒋荣华,肖顺珍,杨卫东;化合物太阳能电池与材料的研究进展[J];新材料产业;2004年05期
6 张顾万,龙飞;PECVD生长氮化硅介质膜的工艺研究[J];半导体光电;2001年03期
7 吕惠民,田敬民;压力传感器的研究现状与发展趋势[J];半导体技术;1998年02期
8 刘成林,李远光,钟菊花,刘百祥,张兆奎,顾建华,陆祖宏;ZnO/ZnS复合超微粒有序组装的研究[J];半导体杂志;1997年04期
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10 朱作云,李跃进,王文襄;微型压阻式压力传感器的研制[J];电子科技;1997年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 何玉平;Cu-MgF_2复合纳米金属陶瓷薄膜的制备、微结构和性能的研究[D];安徽大学;2002年
2 孙泓;Nd-Fe-B/α-Fe两相纳米晶复合交换永磁薄膜结构和磁性研究[D];广东工业大学;2003年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 韩尔立;离子源辅助磁控溅射沉积SiO_x阻隔薄膜的研究[D];北京印刷学院;2006年
2 张承亮;微型压力传感器的系统级建模与仿真[D];西北工业大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 张建民;晶体中原子间成键能力的计算及Fe,Co,Ni触媒作用分析[J];陕西师范大学学报(自然科学版);1999年03期
2 张建民;硅基铜膜应力随温度的变化及等温松弛[J];陕西师范大学学报(自然科学版);2000年01期
3 徐志元,孙兆奇,李爱侠,孙大明;Ag-MgF_2纳米金属陶瓷薄膜的光吸收特性[J];真空科学与技术学报;2001年05期
【相似文献】
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1 董科;;深亚微米CMOS器件中栅氧化层的经时击穿行为(TDDB)及其机理研究[J];中国集成电路;2011年07期
2 杨颖;;基于F-P腔的光纤光栅传感器波长移位量的检测[J];半导体光电;2011年03期
3 蔡立公;;基于干涉型光纤传感器的光缆窃听探知技术浅析[J];华章;2011年23期
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1 曹光明;耿东峰;徐淑丽;蒲季春;杨雪锋;李龙;何英杰;吴伟;张国栋;付浩;;应力制约的InSb焦平面探测器均匀性[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
2 ;六例有关电子封装技术中无铅焊点可靠性研究[A];2004中国电子制造技术论坛——无铅焊接技术译文集(下册)[C];2004年
3 曹志刚;;基于多级光纤锥滤波器结构的光纤激光器研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
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1 记者 郑向鹏 周国和; 深圳集成电路产业战略地位提升[N];深圳特区报;2009年
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1 王昌;长周期光纤光栅的制作与特性研究[D];武汉理工大学;2005年
2 黄伟;中远红外激光薄膜技术研究[D];四川大学;2005年
3 金艳丽;L波段掺铒光纤放大器增益控制技术研究[D];南开大学;2007年
4 王军;短相干光干涉在晶体特性参数和微观表面形貌测量中的应用研究[D];南京理工大学;2010年
5 陈达;3C-SiC/Si异质外延生长与肖特基二极管伏安特性的研究[D];西安电子科技大学;2011年
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1 万学斌;固体热容激光器增益介质的温度和应力分布研究[D];国防科学技术大学;2004年
2 钟霞;多孔硅薄膜的制备工艺与微观结构分析[D];浙江大学;2008年
3 刘文亮;半导体纳米线表面结构与热稳定性的分子动力学研究[D];湘潭大学;2007年
4 李超;GaN基异质结材料应变分析及电学特性研究[D];电子科技大学;2009年
5 李磊;应变BiCMOS器件及应力分布研究[D];西安电子科技大学;2009年
6 陈会军;纳米梁结构制备工艺、检测方法和应用研究[D];北京大学;2008年
7 林丹华;PBGA封装热可靠性分析及结构优化[D];中南大学;2008年
8 杨震宇;TSOP失效和多晶硅薄膜晶体管自加热效应的有限元分析和模拟[D];苏州大学;2007年
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10 张庆东;应变硅MOS器件应力分布与电学特性的模拟研究[D];江南大学;2011年
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