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1引言全球90%以上的集成电路都要采用硅片[1]。超大规模集成电路的特征尺寸已缩小至0·09μm,布线结构已到6~7层,能把整个电子系统集成在一个芯片上。硅片尺寸达到300mm,划片数量是200mm的2·5倍,每片节约成本约30%[2]。美国半导体协会(SIA)预计,2009年将使用450mm硅片,芯片

	【引证文献】

	中国硕士学位论文全文数据库 前1条
	1 吴海洋;固结金刚石线锯的复合电镀工艺研究[D];大连理工大学;2006年

	【参考文献】

	中国期刊全文数据库 前2条
	1 种宝春;切片机主轴系统的设计、装配与维修[J];电子工业专用设备;2001年04期 2 康仁科,田业冰,郭东明,金洙吉;大直径硅片超精密磨削技术的研究与应用现状[J];金刚石与磨料磨具工程;2003年04期

	【共引文献】

	中国期刊全文数据库 前6条
	1 解振华,魏昕,黄蕊慰,熊伟;半导体晶片的金刚石工具切割技术[J];金刚石与磨料磨具工程;2004年01期 2 靳永吉;;线锯切割失效机理的研究[J];电子工业专用设备;2006年11期 3 侯志坚;葛培琪;高玉飞;;一种带摆动机构的线锯床的设计[J];机床与液压;2006年07期 4 田业冰,郭东明,康仁科,金洙吉;大尺寸硅片自旋转磨削的试验研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2004年04期 5 桑波;葛培琪;候志坚;高玉飞;;单晶硅自由磨料线锯切片过程中的流体动压效应[J];润滑与密封;2006年10期 6 刘娟,黄辉,于怡青,徐西鹏;固结磨料加工硅片的技术进展[J];珠宝科技;2004年01期

	中国重要会议论文全文数据库 前1条
	1 田业冰;郭东明;康仁科;金洙吉;;大尺寸硅片自旋转磨削的试验研究[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集（二）[C];2004年

	中国博士学位论文全文数据库 前3条
	1 田业冰;大尺寸硅片磨削平整化理论与工艺技术的研究[D];大连理工大学;2007年 2 张银霞;单晶硅片超精密磨削加工表面层损伤的研究[D];大连理工大学;2006年 3 孟剑峰;环形电镀金刚石线锯加工技术及加工质量研究[D];山东大学;2006年

	中国硕士学位论文全文数据库 前8条
	1 李彦林;超薄大直径太阳能级硅片线切割工艺及其悬浮液特性研究[D];河北工业大学;2007年 2 高涛;表面处理金刚石在光固化树脂结合剂磨具中的应用研究[D];浙江工业大学;2004年 3 张胜利;超精密磨削硅片表层损伤检测的试验研究[D];大连理工大学;2006年 4 黄蕊慰;金刚石内圆锯片工作特性研究[D];广东工业大学;2006年 5 龚勇波;三种典型脆性材料的研磨实验研究[D];华侨大学;2006年 6 桑波;单晶硅线锯切片过程中的流体动压效应[D];山东大学;2006年 7 刘加富;线锯切割单晶硅的应力场及损伤层研究[D];山东大学;2006年 8 吴海洋;固结金刚石线锯的复合电镀工艺研究[D];大连理工大学;2006年

	【同被引文献】

	中国期刊全文数据库 前10条
	1 种宝春;切片机主轴系统的设计、装配与维修[J];电子工业专用设备;2001年04期 2 范国敏;郑笑红;;弦线振动动力学方程的无量纲处理[J];华北科技学院学报;2006年02期 3 吴俊,陈立群;轴向变速运动弦线的非线性振动的稳态响应及其稳定性[J];应用数学和力学;2004年09期 4 孟剑峰;李剑峰;葛培琪;韩云鹏;;锯切力作用下电镀金刚石线锯随机振动研究[J];中国机械工程;2005年24期 5 王仲康;IC业材料切割设备发展状况[J];电子工业专用设备;2002年01期 6 高伟,刘镇昌,Philip Bex,Grace Zhang;超硬磨料在硬脆材料切割中的应用[J];金刚石与磨料磨具工程;2001年03期 7 解振华,魏昕,黄蕊慰,熊伟;半导体晶片的金刚石工具切割技术[J];金刚石与磨料磨具工程;2004年01期 8 高伟,刘镇昌;用复合电镀法制造环形电镀金刚石线锯[J];金刚石与磨料磨具工程;2004年02期 9 孙建章,吕玉山,李艳杰;电镀金刚石长丝锯制造的实验研究[J];机械设计与制造;1999年06期 10 吴明明 ,周兆忠 ,巫少龙;单晶硅片的制造技术[J];新技术新工艺;2004年05期

	【二级参考文献】

	中国重要会议论文全文数据库 前1条
	1 郭东明;康仁科;金洙吉;;大尺寸硅片的高效超精密加工技术[A];制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集[C];2002年

	【相似文献】

	中国期刊全文数据库 前10条
	1 J.RandalMoulic,WalterKlevnfelder,朱静远;用激光扫描方法直接产生集成电路图形[J];电子器件;1980年S1期 2 寿云兴;廉价霍尔效应集成电路的新应用[J];电测与仪表;1980年06期 3 陸詩庄,許志祥;圖象中频道集成电路TA7607P及TA7611P分析[J];电视技术;1980年S1期 4 陸诗庄,许志祥;伴音通道集成电路TA7176AP分析[J];电视技术;1980年S1期 5 金宗谱;使用HTL的一点体会[J];电子技术应用;1980年05期 6 张叙生;刘军;;集成电路图形处理软件简介[J];制造业自动化;1980年04期 7 房明轩;;集成电路解码器[J];电视技术;1980年01期 8 ;绝缘衬底上异质外延生长硅[J];上海有色金属;1980年06期 9 屠汉超;;JS型PMOS集成计数显示板[J];仪表技术与传感器;1980年04期 10 赵厚良;;采用单沟道MOS工艺的压控振荡器集成电路[J];移动通信;1980年04期

	中国重要会议论文全文数据库 前10条
	1 屠海令;;半导体材料工艺技术研究进展[A];中国有色金属学会第三届学术会议论文集——战略研究综述部分[C];1997年 2 吴爱民;;单片中频集成电路在雷达中的应用[A];船舶通信导航学术会议（1993）论文集[C];1993年 3 张守昌;;集成电路的再生供电电路与应用[A];西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年 4 丁宁;;集成电路引线脚“π”成型模具设计[A];第一届国际模具技术会议论文集[C];2000年 5 王亚非;周鹰;张天良;张映敏;;集成电路引线焊接无损检测技术的研究[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（上）[C];2001年 6 郭东明;康仁科;金洙吉;;大尺寸硅片的高效超精密加工技术[A];制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集[C];2002年 7 宋登元;;X射线光刻技术的进展及问题[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年 8 白宣羽;汪渊;徐可为;;集成电路的铜互连布线及其扩散阻挡层的研究进展[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年 9 杨延辉;魏少军;;集成电路安全与系统科学思想的思考[A];2003中国通信专用集成电路技术及产业发展研讨会论文集[C];2003年 10 王志功;冯军;朱恩;宋其丰;孟桥;陈志恒;李文渊;李智群;陈莹梅;刘丽;王欢;章丽;熊明珍;潘弘瑶;夏春晓;黄颋;胡艳;李连鸣;;光纤通信集成电路设计[A];2003中国通信专用集成电路技术及产业发展研讨会论文集[C];2003年

	中国重要报纸全文数据库 前10条
	1 闫淑青;集成电路增值税不再退税[N];中国财经报;2004年 2 财政部关税司;树起负责任的大国形象[N];中国财经报;2004年 3 赵艳秋;软硬结合模式考验芯片企业[N];中国电子报;2004年 4 梁红兵;龙芯进入国家IP核库[N];中国电子报;2004年 5 信息产业部科技司司长 闻库;坚持自主创新提升产业竞争力[N];中国电子报;2004年 6 ;半导体测试业如何走向成熟[N];中国电子报;2004年 7 烽火通信科技有限公司 鲜飞;内存芯片封装技术“三级跳”[N];中国电子报;2004年 8 ;点评基础电子行业20年[N];中国电子报;2004年 9 中国电子信息产业发展研究院IT产业发展与应用服务研究所 任志安;20年：电子信息产业改革发展回望[N];中国电子报;2004年 10 姜益群 刘培东;集成电路硅单晶用石英坩埚现状和改进建议[N];中国建材报;2004年

	中国博士学位论文全文数据库 前10条
	1 姜晓鸿;集成电路局部缺陷及其相关的功能成品率和电迁徙问题的研究[D];西安电子科技大学;1998年 2 马佩军;集成电路功能成品率仿真与优化技术研究[D];西安电子科技大学;2000年 3 郭红霞;集成电路电离辐射效应数值模拟及X射线剂量增强效应的研究[D];西安电子科技大学;2001年 4 薛雷;基于Petri网的集成电路柔性制造系统建模、分析及调度[D];西安电子科技大学;2001年 5 姜蕾;集成电路Cu互连工艺中的Ta基扩散阻挡层研究[D];复旦大学;2003年 6 张溯;集成电路工程学及IP评测技术的研究[D];合肥工业大学;2004年 7 丁燕;多层陶瓷集成电路中无源元件的电磁建模与设计方法[D];南京理工大学;2004年 8 杨媛;神经元MOS及其应用电路的研究[D];西安理工大学;2004年 9 荆明娥;集成电路参数成品率的预测与优化技术研究[D];西安电子科技大学;2005年 10 文嫮;嵌入全球价值链的中国地方产业网络升级机制的理论与实践研究[D];华东师范大学;2005年

	中国硕士学位论文全文数据库 前10条
	1 魏欢;SiGe异质结双极晶体管及其集成电路的研究[D];北京工业大学;2000年 2 邓奉立;64位RISC CPU在FPGA上的实现和验证[D];电子科技大学;2002年 3 罗卢杨;SOI高压器件及功率开关集成电路的研究[D];电子科技大学;2003年 4 毛剑波;IC制造计算机辅助管理系统设计研究[D];合肥工业大学;2004年 5 王璐;脉象识别神经网络集成电路研究[D];黑龙江大学;2004年 6 孙玲;10-40Gb/s光通信与万兆以太网时钟恢复电路芯片研究[D];东南大学;2004年 7 夏晓菲;超大规模专用集成电路的功能仿真和验证[D];华中科技大学;2004年 8 向传金;集成电路知识产权法律制度研究[D];武汉理工大学;2005年 9 吴明明;单晶硅片的超精密加工技术研究[D];浙江工业大学;2005年 10 蔡颖;多功能车厢总线控制器（MVBC）的研究与设计[D];西南交通大学;2005年

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