《硅酸盐学报》1986年03期 加入收藏    获取最新 
 低温等离子体化学法制备SnO_2超微粒子粉末
 陈祖耀,胡俊宝,张酣,沈瑜生
   用低温等离子体化学法从无水四氯化锡和纯氧体系合成出非晶态SnO_2超微粒子粉末。研究了各反应物流量对产物的形态,组成的影响。对淀积物进行XRD、IR、TEM和XPS分析,并研究了后处理温度与超微粒子粉末粒度的关系。结果表明,平均粒度随着后处理温度的增加而增加,当后处理温度低于250℃时,平均粒径为35。
【作者单位】:中国科学技术大学应用化学系 (陈祖耀;胡俊宝;张酣);中国科学技术大学应用化学系(沈瑜生)
【DOI】:cnki:ISSN:0454-5648.0.1986-03-011
【正文快照】:
  一、引言 SnOZ作为气体敏感材料是目前研究得较多的一种金属氧化物。关于SnO:多晶薄膜、无定形薄膜和单晶薄膜的制备,已经有很多报导【’一3’。常用的制备方法有化学气相淀积、真空蒸发或者真空溅射。后两种方法,在蒸发或溅射以后,还要进行气相氧化。最近也有使用低温等离子体
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