《北京工业大学学报》1980年01期 加入收藏    获取最新 
 全息法制作光谱学衍射光栅
 徐敏;郑基立;郭厚林
 　　用全息法在光致抗蚀剂涂层上制作光栅,涉及到所用的激光光源、干涉仪系统和光敏记录介质。在现有条件下,对一个刻划面积约80×40mm~2的光栅,可以得到波前象差1/6λ,30％的衍射效率,分辨率为理论值的75％和无鬼线强度。
【作者单位】：北京工业大学 (徐敏;郑基立);北京光学仪器厂(郭厚林)
【DOI】：cnki:ISSN:0254-0037.0.1980-01-004
【正文快照】：
　　钾里一引言 衍射光栅和棱境在分光仪器中是不可缺少的色散元件。但是,用于制造棱境材料的玻璃 和晶体对远红外和远紫外波段不适用。而光姗在这些波段也能当做色散元件,因而显出它的 独特作用。 对于一个光谱学的衍射光姗,要求它具有精度很高的刻槽位置、良好的边绿尖锐性以及
 
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